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专利号: 2023235574415
申请人: 李明辉
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 一般的物理或化学的方法或装置
更新日期:2025-02-25
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种传送装置的干法刻蚀机,其特征在于,包括:

干法刻蚀机本体,所述干法刻蚀机本体包括排气管;

安装板,所述安装板设置在所述干法刻蚀机本体的一侧外壁上,所述安装板上设置有过滤箱,所述过滤箱内设置有过滤器,所述安装板上设置有吸附箱,所述吸附箱内设置有吸附器,所述安装板上设置有反应箱;

两个风机,两个所述风机分别设置在所述吸附箱内和所述吸附箱的一侧外壁上,两个所述风机的进风端上均设置有连接管,两个所述连接管分别和所述过滤箱和所述吸附箱相连通,两个所述风机的出风端分别和所述吸附箱和所述反应箱相连通;

搅拌机构,所述搅拌机构设置在所述反应箱上,所述搅拌机构用于将所述干法刻蚀机本体排出的废气和所述反应箱内的反应液进行充分的接触。

2.根据权利要求1所述的传送装置的干法刻蚀机,其特征在于,所述搅拌机构包括搅拌轴、多个搅拌杆、驱动电机和两个圆齿,所述搅拌轴转动安装在所述反应箱上,多个所述搅拌杆均固定安装在所述搅拌轴上,所述驱动电机设置在所述反应箱的顶部,两个所述圆齿分别固定套设在所述驱动电机的输出轴和所述搅拌轴上,且两个所述圆齿相互啮合。

3.根据权利要求2所述的传送装置的干法刻蚀机,其特征在于,所述反应箱内设置有用于将干法刻蚀机本体排出的废气和反应箱内的反应液进行充分混合的混合机构,所述混合机构包括通腔、多个通口、竖管、弯管和曝气泵,所述通腔开设在所述搅拌轴上,多个所述通口分别开设在多个所述搅拌杆上,且多个所述通口均和所述通腔相连通,所述竖管固定安装在所述反应箱的顶部,且所述竖管和所述搅拌轴密封转动连接,所述弯管设置在所述反应箱的一侧,且所述弯管和所述竖管相连通,所述曝气泵设置在所述反应箱的一侧,且所述曝气泵和所述弯管相连通。

4.根据权利要求1所述的传送装置的干法刻蚀机,其特征在于,所述过滤箱内设置有过滤板,所述过滤板位于所述过滤器的上方,所述过滤箱的两侧内壁上均固定安装有支撑板,所述过滤器的底部和所述支撑板的顶部相接触,所述过滤箱的顶部设置有密封盖,所述密封盖上设置有用于对过滤板进行定位的定位机构。

5.根据权利要求4所述的传送装置的干法刻蚀机,其特征在于,所述定位机构包括连接架、弹簧、定位杆和定位架,所述连接架固定安装在所述密封盖的内壁上,所述弹簧设置在所述连接架内,所述定位杆滑动设置在所述连接架内,所述定位架固定安装在所述过滤板的顶部,且所述定位架和所述定位杆相适配。

6.根据权利要求4所述的传送装置的干法刻蚀机,其特征在于,所述密封盖上设置有挂钩,所述过滤箱的外壁上固定安装有锁扣,所述挂钩和所述锁扣相适配,且所述密封盖的顶部设置有进气管,所述进气管和所述排气管相连接,且所述反应箱的顶部设置有出气管。

7.根据权利要求1所述的传送装置的干法刻蚀机,其特征在于,所述安装板的一侧设置有控制器。