1.一种半导体硅片的清洗装置 ,其特征在于,包括:装置本体(1)、放置板(7)和盖板(13),所述装置本体(1)上方固接有电机箱(2),所述电机箱(2)内部设有伺服电机(3),所述伺服电机(3)一端设有丝杆(4),所述装置本体(1)上方另一端固接有固定板(5),所述固定板(5)下方固接有限位杆(6),所述放置板(7)一侧固接有第一滑块(8),所述放置板(7)另一侧固接有第二滑块(9),所述放置板(7)上方固接有清洗圈(10),所述清洗圈(10)一端设有卡槽(11),所述清洗圈(10)下方设有第一漏网(12),所述盖板(13)下方固接有卡块(14),所述盖板(13)上方设有第二漏网(24)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体硅片的清洗装置 ,其特征在于,所述装置本体(1)一侧固接有驱动箱(15),所述驱动箱(15)上方设有电动伸缩杆(16),所述电动伸缩杆(16)上方固接有散热盖板(17),所述散热盖板(17)上方固接有热风箱(18),所述热风箱(18)上方设有散热口(19),所述热风箱(18)下方设有风扇(20),所述热风箱(18)一些电性连接有热风箱控制器(21)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体硅片的清洗装置 ,其特征在于,所述装置本体(1)一侧固接有放水口(22),所述装置本体(1)另一侧电性连接有控制面板(23)。
4.根据权利要求1所述的一种半导体硅片的清洗装置 ,其特征在于,所述第一滑块(8)与所述丝杆(4)螺纹连接,所述第二滑块(9)与所述限位杆(6)相适配。
5.根据权利要求1所述的一种半导体硅片的清洗装置 ,其特征在于,所述清洗圈(10)、所述卡槽(11)、所述第一漏网(12)、所述盖板(13)、所述卡块(14)和所述第二漏网(24)数量均设置有多组,且所述卡块(14)与所述卡槽(11)相适配。
6.根据权利要求2所述的一种半导体硅片的清洗装置 ,其特征在于,所述驱动箱(15)数量设置有两组,所述电动伸缩杆(16)数量设置有四组。