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专利号: 2023224614955
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2024-05-22
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种测试硅片抗弯强度的装置,包括支架和硅片(50),其特征在于,还包括:用于对硅片(50)进行承载的承载组件,且支架上设有两组承载组件;

用于对两组硅片(50)进行同时挤压的下压组件,且下压组件设在支架上。

2.根据权利要求1所述的一种测试硅片抗弯强度的装置,其特征在于,所述支架包括:侧板(11);

支撑板(12),所述侧板(11)的一侧两端均固定安装支撑板(12);

隔板(13),所述隔板(13)固定安装在侧板(11)的一侧上,且隔板(13)位于两组支撑板(12)之间的中部上。

3.根据权利要求2所述的一种测试硅片抗弯强度的装置,其特征在于,所述下压组件包括:螺杆(21),所述螺杆(21)通过轴承转动连接在两组支撑板(12)之间,且螺杆(21)的中部通过轴承转动连接在隔板(13)上;

滑块(22),所述螺杆(21)的两端均螺纹连接滑块(22);

导向杆(23),所述导向杆(23)固定安装在两组支撑板(12)之间,且导向杆(23)贯穿隔板(13),所述滑块(22)滑动连接在导向杆(23)上。

4.根据权利要求3所述的一种测试硅片抗弯强度的装置,其特征在于,所述下压组件还包括:箱体(24),所述箱体(24)固定安装在顶部的支撑板(12)上;

伺服电机(25),所述伺服电机(25)固定安装在箱体(24)的内壁上,且伺服电机(25)的输出轴固定安装螺杆(21)。

5.根据权利要求4所述的一种测试硅片抗弯强度的装置,其特征在于,所述下压组件还包括:盒体(26),所述盒体(26)固定安装在滑块(22)的侧壁上;

电动推杆(27),所述电动推杆(27)固定安装在盒体(26)的内壁上;

支撑块(28),所述电动推杆(27)的输出端通过活塞杆固定安装支撑块(28)。

6.根据权利要求5所述的一种测试硅片抗弯强度的装置,其特征在于,所述下压组件还包括:压力传感器(31),所述压力传感器(31)固定安装在支撑块(28)的底部上;

下压杆(29),所述下压杆(29)固定安装在压力传感器(31)的底部上;

挤压块(30),所述挤压块(30)固定安装在下压杆(29)的底部上,且挤压块(30)的正下方设有硅片(50)。

7.根据权利要求2所述的一种测试硅片抗弯强度的装置,其特征在于,所述承载组件包括:放置盒(41),所述放置盒(41)的内腔设有硅片(50);

通孔(42),所述通孔(42)开设在放置盒(41)的底端上。

8.根据权利要求7所述的一种测试硅片抗弯强度的装置,其特征在于,所述承载组件还包括:立杆(43),所述放置盒(41)的底部固定安装若干立杆(43);

凹槽(44),所述隔板(13)的顶端和底部所述支撑板(12)的顶端均开设若干凹槽(44),且立杆(43)的底端插在凹槽(44)中;

固定板(45),所述放置盒(41)的内腔两端均通过螺丝固定安装固定板(45);

手拧螺丝(46),所述手拧螺丝(46)螺纹连接在固定板(45)上;

圆板(47),所述圆板(47)固定安装在手拧螺丝(46)的底端上。