1.一种晶圆烘烤装置，包括用于加热烘烤晶圆的机架装置(1)，其特征在于：还包括所述机架装置(1)前后对称安装的两个用于通过高压吹气加速晶圆表面水渍下流的吹气装置(2)，所述机架装置(1)中间设置有用于循环输送晶圆的输送装置(3)；

所述吹气装置(2)包括气泵(201)，所述气泵(201)下面安装有过滤头(203)，所述气泵(201)上面安装有输气管(202)，所述输气管(202)顶端设置有均气管(204)，所述均气管(204)上均匀分布有若干喷头(205)；

所述输送装置(3)包括第二支架(301)，所述第二支架(301)上对称安装有两个输送辊(302)，所述输送辊(302)之间安装有输送带(304)，所述输送带(304)表面均匀分布有若干限位架(305)，所述限位架(305)内设置有限位槽(306)，所述第二支架(301)前面安装有旋转电机(303)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆烘烤装置，其特征在于：所述机架装置(1)包括第一支架(101)，所述第一支架(101)内均匀分布有若干烘干灯(102)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆烘烤装置，其特征在于：所述烘干灯(102)设置有4个，对称分布在所述第一支架(101)前后内壁上。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆烘烤装置，其特征在于：所述喷头(205)和竖直方向呈50度夹角，所述喷头(205)和所述均气管(204)密封螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆烘烤装置，其特征在于：所述均气管(204)和所述输气管(202)焊接在一起，所述输气管(202)和所述气泵(201)卡箍连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆烘烤装置，其特征在于：所述限位架(305)为两半式，所述限位架(305)和所述输送带(304)铆接在一起。