欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 202311661283X
申请人: 张家口众安鑫辰机电技术有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-06-18
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种半导体基底清洁装置,包括安装底桌(1)、支撑柱板(2),其特征在于:所述支撑柱板(2)的顶部固定连接有安装顶板(4),所述支撑柱板(2)的顶部固定连接有运输电机(5),运输电机(5)的输出端固定连接有运输带(6),运输带(6)与安装顶板(4)转动连接,所述运输带(6)的表面等距固定连接有夹持固定块(7),夹持固定块(7)的内侧滑动卡接有滑动内卡块(16),所述滑动内卡块(16)的底部固定连接有两个伸缩内柱(17),所述伸缩内柱(17)的外侧滑动卡接有伸缩外筒(18),所述伸缩外筒(18)的底部固定连接有吸附安装板(20),所述伸缩外筒(18)的侧部顶端固定连接有梯形斜块(19),所述伸缩外筒(18)的内部活动安装有压缩弹簧(21),所述压缩弹簧(21)的两端分别与伸缩内柱(17)和吸附安装板(20)固定连接;

所述安装底桌(1)的顶部固定连接有四个安装侧板(9),安装侧板(9)相邻一侧均固定连接有滑动底条(10),滑动底条(10)的两端固定连接有滑动斜条(11),两个滑动斜条(11)之间固定连接有滑动底块(12),两个安装侧板(9)的一侧固定连接有第一顶条(13),另外两个安装侧板(9)与第一顶条(13)相邻一侧固定连接有第二顶条(14),第一顶条(13)与滑动底条(10)的间距与梯形斜块(19)的高度相同,第二顶条(14)与滑动底条(10)的间距与梯形斜块(19)的高度相同;

所述安装侧板(9)的内侧顶部固定连接有带压动块(15),所述带压动块(15)位于运输带(6)的内侧;

所述安装底桌(1)的顶部固定连接有超声波清洗箱(23),所述安装底桌(1)的内侧固定连接有清洗电机(8),所述清洗电机(8)的输出端固定连接有清洗轴(24),清洗轴(24)贯穿安装底桌(1)的顶部与超声波清洗箱(23)的底部,且压缩弹簧(21)的顶端固定连接有清洁棉盘(22);

所述超声波清洗箱(23)的一侧固定连接有烘干箱(3),所述烘干箱(3)内部安装有烘干机,所述烘干箱(3)固定连接于两个安装侧板(9)的内侧;

所述第一顶条(13)的两端与支撑柱板(2)固定连接,第二顶条(14)的两端为斜面;

所述带压动块(15)与第一顶条(13)和第二顶条(14)的间距与滑动内卡块(16)的高度相同。