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专利号: 2023115552102
申请人: 曲阜师范大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2026-04-06
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种太赫兹波带通带阻滤波器件,其特征在于:太赫兹波带通带阻滤波器件包括介质衬底层以及设置在所述介质衬底层两侧的第一结构层和第二结构层,所述第一结构层为所述太赫兹波带通带阻滤波器件的正面。

2.根据权利要求1所述的一种太赫兹波带通带阻滤波器件,其特征在于:所述第一结构层和所述第二结构层分别由介质衬底层的两端镀金再蚀刻而成,所述第一结构层和所述第二结构层的长轴转动范围为0‑90°。

3.根据权利要求2所述的一种太赫兹波带通带阻滤波器件,其特征在于:所述第一结构层为金属孔层,所述第二结构层为金属环层。

4.根据权利要求3所述的一种太赫兹波带通带阻滤波器件,其特征在于:所述金属环层和所述金属孔层的厚度为150‑200nm,边长为100‑150μm,椭圆长轴为50‑70μm,短轴为40‑60μm,椭圆内部圆半径为35‑45μm。

5.根据权利要求4所述的一种太赫兹波带通带阻滤波器件,其特征在于:所述介质衬底层的厚度是200‑500μm,衬底材料为高电阻率的硅。

6.根据权利要求5所述的一种太赫兹波带通带阻滤波器件,其特征在于:所述金属环层和所述金属孔层的厚度为200nm,边长为120μm,椭圆长轴为50μm,短轴为40μm,椭圆内部圆半径为35μm,所述介质衬底层的厚度是500μm。

7.根据权利要求2所述的一种太赫兹波带通带阻滤波器件,其特征在于:所述第一结构层和所述第二结构层均为金属环层。

8.根据权利要求2所述的一种太赫兹波带通带阻滤波器件,其特征在于:所述第一结构层和所述第二结构层均为金属孔层。

9.根据权利要求1‑8任意一项所述的一种太赫兹波带通带阻滤波器件的使用方法,其特征在于:入射线偏振光的偏振方向与第一结构层的长轴取向平行或垂直,入射光从所述太赫兹波带通带阻滤波器件正面进入第一结构层。