1.一种晶棒直径测量装置,其特征在于:包括安装板(1)、固定机构(3)和测量机构(4),所述固定机构(3)和所述测量机构(4)均设置在所述安装板(1)上;
所述安装板(1)上开设有若干个用于放置晶棒的安装槽(11),所述固定机构(3)的数量为若干组,若干组所述固定机构(3)沿所述安装槽(11)长度方向间隔排布在所述安装槽(11)两侧,所述测量机构(4)设置在所述安装槽(11)两侧且与所述固定机构(3)交替间隔排布;
每组所述测量机构(4)包括测量驱动件(41)和测距传感器(42),所述测距传感器(42)与对应的所述测量驱动件(41)输出轴连接,所述安装槽(11)两侧的所述测距传感器(42)能够在对应的所述测量驱动件(41)的驱动下朝向对侧所述测距传感器(42)移动。
2.根据权利要求1所述的一种晶棒直径测量装置,其特征在于:所述固定机构(3)包括第一固定组件(31)、第二固定组件(32)和限位组件(34),所述第一固定组件(31)和所述第二固定组件(32)分别设置在所述安装槽(11)的两侧,所述限位组件(34)包括两个相对设置的限位环(341),每个所述限位环(341)的一端与所述第一固定组件(31)或所述第二固定组件(32)连接,另一端相向靠拢并朝向所述安装槽(11)内延伸。
3.根据权利要求2所述的一种晶棒直径测量装置,其特征在于:所述第一固定组件(31)包括驱动轴(311)、第一压紧块(312)和第一锁紧件(313),所述驱动轴(311)轴向与所述安装板(1)平面方向垂直,所述第一压紧块(312)与对应的所述限位环(341)连接,所述第一压紧块(312)转动套设在所述驱动轴(311)外侧,所述第一锁紧件(313)套设在所述驱动轴(311)外侧并与所述驱动轴(311)螺纹连接,所述第一锁紧件(313)位于所述第一压紧块(312)远离所述安装板(1)的一侧并能够与所述第一压紧块(312)抵接。
4.根据权利要求3所述的一种晶棒直径测量装置,其特征在于:所述固定机构(3)还包括传动杠杆(33),所述传动杠杆(33)转动设置在所述安装板(1)内并能沿垂直于所述安装板(1)平面方向摆动,所述第一固定组件(31)和所述第二固定组件(32)设置在所述传动杠杆(33)的两端;
所述第二固定组件(32)包括第二压紧块(322)和从动轴(321),所述从动轴(321)轴向与所述安装板(1)平面方向垂直,所述第二压紧块(322)与对应的所述限位环(341)连接;
所述驱动轴(311)远离所述第一压紧块(312)的一端与所述传动杠杆(33)铰接,所述从动轴(321)远离所述第二压紧块(322)的一端与所述传动杠杆(33)铰接;
当所述驱动轴(311)朝向远离所述传动杠杆(33)的一端运动时,所述从动轴(321)朝向靠近所述传动杠杆(33)的方向运动。
5.根据权利要求3所述的一种晶棒直径测量装置,其特征在于:所述第一固定组件(31)还包括弹性复位件(35),所述弹性复位件(35)一端与所述第一压紧块(312)底部连接,另一端绕设在所述驱动轴(311)外侧并与所述安装板(1)连接。
6.根据权利要求1所述的一种晶棒直径测量装置,其特征在于:还包括翻转支撑机构(2),所述翻转支撑机构(2)包括支撑架(21)和摆动组件(22),所述安装板(1)一端与所述支撑架(21)一侧转动连接,所述摆动组件(22)设置在所述安装板(1)与所述支撑架(21)之间;
所述摆动组件(22)包括第一连杆(221)、第二连杆(222)和驱动电机(224),所述驱动电机(224)设置在所述支撑架(21)上,所述第一连杆(221)的一端与所述驱动电机(224)输出轴连接,另一端与所述第二连杆(222)铰接,所述第二连杆(222)远离所述第一连杆(221)的一端与所述安装板(1)铰接。
7.根据权利要求6所述的一种晶棒直径测量装置,其特征在于:所述支撑架(21)上设置有若干个用于对所述安装板(1)进行限位的限位支座(24),每个所述限位支座(24)上均开设有限位槽(241);
所述翻转支撑机构(2)还包括转向组件(23),所述转向组件(23)包括连接杆(232),所述连接杆(232)沿支撑架(21)长度方向设置,所述连接杆(232)的两端均设置有限位挡板(231),当沿所述支撑架(21)长度方向移动所述连接杆(232)时,所述限位挡板(231)能够朝向所述限位槽(241)槽口方向移动。
8.根据权利要求1所述的一种晶棒直径测量装置,其特征在于:所述安装板(1)的两端分别设置有第一托板(5)和第二托板(6),所述第一托板(5)和所述第二托板(6)分别与所述安装板(1)平面垂直,所述第一托板(5)和所述第二托板(6)上均设置有用于插设晶棒端部的固定座(7);
所述安装板(1)其中一端开设有滑槽(12),所述第二托板(6)嵌设在所述滑槽(12)内,所述第二托板(6)与所述滑槽(12)内侧壁之间设置有弹性件。
9.根据权利要求8所述的一种晶棒直径测量装置,其特征在于:所述第二托板(6)和所述安装板(1)上均设置有刻度(8)。
10.一种晶棒直径测量方法,其特征在于,应用于如权利要求1~9中任意一项所述的晶棒直径测量装置,包括以下步骤:S1:将两个限位环(341)向远离安装槽(11)的方向转动并将安装板(1)调整为竖直状态;
S2:提拉晶棒至安装槽(11)内,通过第一托板(5)、第二托板(6)和固定机构(3)对晶棒进行固定;
S3:将安装板(1)调整为水平状态;
S7:利用测量机构(4)对晶棒直径进行测量。