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专利号: 2022231917642
申请人: 常州宝颐金刚石科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2025-04-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种cvd金刚石制备反应腔冷却结构,其特征在于:包括外层圆柱腔(1)、内层反应腔(6)、第一隔水板(81)和第二隔水板(82),所述内层反应腔(6)置于外层圆柱腔(1)内,所述内层反应腔(6)的外壁上呈环形阵列设置有纵向条状凹槽(7),所述外层圆柱腔(1)上设置有第一进水口(2)、第二进水口(3)、第一回水口(4)、第二回水口(5),所述第一隔水板(81)和第二隔水板(82)对称且固定安装在外层圆柱腔(1)的内壁上,所述第一隔水板(81)和第二隔水板(82)将外层圆柱腔(1)、内层反应腔(6)之间的区域分隔为第一冷却区域(11)和第二冷却区域(12),所述第一进水口(2)、第一回水口(4)连通至第一冷却区域(11),所述第二进水口(3)、第二回水口(5)连通至第二冷却区域(12)。

2.根据权利要求1所述的cvd金刚石制备反应腔冷却结构,其特征在于:所述纵向条状凹槽(7)的深度设置为3mm‑4mm。

3.根据权利要求1所述的cvd金刚石制备反应腔冷却结构,其特征在于:所述第一隔水板(81)和第二隔水板(82)的内端与内层反应腔(6)的外壁之间存在5mm‑8mm的间隙。