1.一种芯片晶圆加工用废料回收装置,包括外壳(1),其特征在于:所述外壳(1)的内部设置有粉碎装置(2),所述粉碎装置(2)的上方设置有破碎装置(3);
所述粉碎装置(2)包括有机壳(201),所述机壳(201)的内底壁固定安装有电机(202),所述外壳(1)的内部设置有粉碎仓(203),所述电机(202)的输出轴通过联轴器固定连接有一端贯穿并延伸至粉碎仓(203)内部的转动轴(204),所述转动轴(204)的外表面固定安装有竖直齿轮(205),所述粉碎仓(203)的内底壁活动安装有安装杆(206),所述安装杆(206)的外表面固定安装有粉碎壁(207),所述安装杆(206)的外表面固定安装有横置齿轮(208)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆加工用废料回收装置,其特征在于:所述破碎装置(3)包括有破碎仓(301),所述破碎仓(301)的内部固定安装有一端贯穿并延伸至外壳(1)外部的进料斗(302),所述机壳(201)的内部活动安装有两个一端贯穿并延伸至破碎仓(301)内部的转动杆(303),两个所述转动杆(303)的外表面均固定安装有破碎刀(304),两个所述转动杆(303)的外表面均固定安装有安装齿轮(305),两个所述安装齿轮(305)相啮合,正面所述转动杆(303)的外表面与转动轴(204)的外表面活动安装有同步皮带(306),所述粉碎仓(203)的内部固定安装有一端贯穿并延伸至外壳(1)外部的出料管(307)。
3.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆加工用废料回收装置,其特征在于:所述粉碎仓(203)的内腔右侧壁开设有活动孔,所述活动孔的尺寸与转动轴(204)的尺寸相适配。
4.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆加工用废料回收装置,其特征在于:所述粉碎壁(207)从正面看呈梯形状。
5.根据权利要求2所述的一种芯片晶圆加工用废料回收装置,其特征在于:所述破碎仓(301)的内腔右侧壁开设有安装孔,所述安装孔的尺寸与转动杆(303)的尺寸相适配。
6.根据权利要求2所述的一种芯片晶圆加工用废料回收装置,其特征在于:正面所述转动杆(303)的外表面与转动轴(204)的外表面均固定安装有安装辊,两个所述安装辊的外表面均与同步皮带(306)的内表面活动连接。
7.根据权利要求2所述的一种芯片晶圆加工用废料回收装置,其特征在于:所述出料管(307)从左往右看呈Y字形状。