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专利号: 2022203670880
申请人: 浙江弘康半导体技术股份有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2026-04-02
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种降低水汽透过率的阻隔膜,其特征在于:包括由下至上依次复合的有机柔性衬底层、无机氧化物层、单层的有机/无机杂化聚合物,其中单层的有机/无机杂化聚合物层通过旋涂的方式复合;有机柔性衬底层与无机氧化物层复合的方式为:利用电子束蒸发、磁控溅射在有机柔性衬底层上沉积10至1000nm无机氧化物层以初步形成阻隔膜。

2.根据权利要求1所述的一种降低水汽透过率的阻隔膜,其特征在于:所述有机柔性衬底的膜层厚度在10至125um,采用透光性高的PET、PEN、BOPP、OPP、PE、PI膜、PC中任意一种柔性薄膜。

3.根据权利要求1所述的一种降低水汽透过率的阻隔膜,其特征在于:所述无机氧化物层厚度在10至1000nm范围内,采用致密的Al2O3‑ZnO(AZO)、In2O3‑ZnO(IZO)、In2O3‑SnO2(ITO)、Al2O3薄膜、SiO2薄膜、AlN薄膜、Si3N4薄膜或者Nb2O5一种或多种构成。