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专利号: 2022116287580
申请人: 湖州学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2026-01-27
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于法布里-玻罗谐振腔的甲烷探测系统,其特征在于:包括气体池、光源、第一光具组、隔离板、传感部,第二光具组、光探测器、进气口、出气口;所述传感部固定在所述隔离板的中部,所述传感部和所述隔离板将所述气体池分为两个腔室,所述光源和所述第一光具组设置在一个腔室内,所述第二光具组和所述光探测器设置在另一个腔室内,所述进气口和所述出气口分别设置在两个腔室的侧壁上;所述光源发出宽带光线,所述宽带光线经所述第一光具组后照射到所述传感部的一侧,在所述传感部的另一侧出射后,经所述第二光具组会聚到所述光探测器上;所述传感部包括依次排布的第一限制膜层、敏感层、第二限制膜层,所述第一限制层、所述敏感层、所述第二限制层中设有贯穿的通孔,所述敏感层的材料为穴番-A或穴番-E,所述通孔周期分布,所述通孔为圆台形,在所述进气口一侧,所述通孔的底面积大,在所述出气口一侧,所述通孔的底面积小。

2.如权利要求1所述的基于法布里-玻罗谐振腔的甲烷探测系统,其特征在于:所述第一光具组包括凸透镜、平凹透镜、平凸透镜。

3.如权利要求1所述的基于法布里-玻罗谐振腔的甲烷探测系统,其特征在于:所述第二光具组为凸透镜。

4.如权利要求1所述的基于法布里-玻罗谐振腔的甲烷探测系统,其特征在于:所述进气口设置在所述探测器一侧的腔室内,所述出气口设置在所述光源一侧的腔室内。

5.如权利要求4所述的基于法布里-玻罗谐振腔的甲烷探测系统,其特征在于:所述出气口和所述光源设置在同一侧壁上。

6.如权利要求5所述的基于法布里-玻罗谐振腔的甲烷探测系统,其特征在于:所述出气口设置在所述光源的下侧。

7.如权利要求1所述的基于法布里-玻罗谐振腔的甲烷探测系统,其特征在于:在相邻所述通孔之间设有局域块,所述局域块的材料与所述敏感层的材料不同。

8.如权利要求1-7任一项所述的基于法布里-玻罗谐振腔的甲烷探测系统,其特征在于:所述第一限制膜层和所述第二限制膜层的材料为硅。