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专利号: 2022108211950
申请人: 安徽建筑大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2026-03-03
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摘要:

权利要求书:

1.一种可相变的纳米片状VO2薄膜的制备方法,其特征在于:采用低温液相沉积法合并氮气气氛热处理制备纳米片状VO2薄膜,具体步骤如下:

1)配制一定摩尔浓度比的硫酸氧钒和乳酸的混合溶液,搅拌使其络合均匀;

2)在混合溶液中加入氨水调节混合溶液的pH值至特定范围;

3)将清洗干燥后的基板放入调pH值后的混合溶液中,恒温沉积反应一段时间后,取出基板,再冲洗干燥,得到纳米级(NH4)8(V19O41(OH)9)(H2O)11前驱体薄膜;所述基板的清洗干燥步骤如下:使用表面活性剂超声清洗5分钟,再用去离子水冲洗5分钟,最后重复用去离子水超声5分钟清洗3~5次,在80℃真空干燥2小时,待用;

4)将前驱体薄膜放入管式炉中,在一定流速的氮气气氛保护下,于一定温度下恒温退火处理后,再冷却至室温,得到微观纳米片状VO2薄膜,密封保存;

步骤3)的恒温沉积的温度为60℃~90℃,时间72小时~240小时。

2.根据权利要求1所述的一种可相变的纳米片状VO2薄膜的制备方法,其特征在于:步骤

1)中所述的硫酸氧钒和乳酸的混合溶液摩尔浓度比为5:4~1:2。

3.根据权利要求1所述的一种可相变的纳米片状VO2薄膜的制备方法,其特征在于:步骤

2)中混合溶液的pH值为3.2~4.4。

4.根据权利要求1所述的一种可相变的纳米片状VO2薄膜的制备方法,其特征在于:步骤

3)所述的取出基板,再冲洗干燥,具体是用去离子水冲洗2分钟,在80℃温度下干燥2小时。

5.根据权利要求1所述的一种可相变的纳米片状VO2薄膜的制备方法,其特征在于:所述步骤4)中所述的氮气的流速范围为25mL/min~50mL/min,退火处理温度范围为500℃~600℃。