1.一种用于单晶硅的制绒液,其特征在于,所述制绒液由如下质量百分比含量的组份组成:碱性物质1‑3%,制绒添加剂0.3‑2.5%,低共熔溶剂5‑30%,余量为去离子水;
所述低共熔溶剂的制备方法为:
将(2‑羟乙基)三甲基氢氧化铵和尿素分别置于60℃真空干燥箱中干燥12h,按物质的量比为n(2‑羟乙基)三甲基氢氧化铵:n尿素=1:2混合搅拌,密封,然后在70℃‑80℃油浴锅中加热,直至得到无色透明液体,即得到氯化胆碱‑尿素低共熔溶剂;
其中,所述(2‑羟乙基)三甲基氢氧化铵可替换为正辛基三甲基氯化铵、十烷基三甲基氯化铵或(2‑羟乙基)乙酰三甲基氯化铵;
相应地,所述正辛基三甲基氯化铵与尿素混合制备得到正辛基三甲基氯化铵‑尿素低共熔溶剂;
所述十烷基三甲基氯化铵与尿素混合制备得到十烷基三甲基氯化铵‑尿素低共熔溶剂;
所述(2‑羟乙基)乙酰三甲基氯化铵与尿素混合制备得到(2‑羟乙基)乙酰三甲基氯化铵‑尿素低共熔溶剂。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅的制绒液,其特征在于,所述低共熔溶剂占所述制绒液的质量百分比为15‑28%。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅的制绒液,其特征在于,所述碱性物质包括无机碱和有机碱;其中,所述无机碱为氢氧化钠或氢氧化钾,所述无机碱占所述制绒液的质量百分比为1‑2%;
所述有机碱为聚乙烯亚胺,所述有机碱占所述制绒液的质量百分比为0.5‑1%。
4.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅的制绒液,其特征在于,所述制绒添加剂的组份组成,以质量百分比计为:水溶性高分子树脂0.1‑0.5%,消泡剂0.1‑1%,缓冲剂0.01‑
0.1%;
其中,所述水溶性高分子树脂为水溶性醇酸树脂或水溶性丙烯酸树脂,所述消泡剂为聚醚消泡剂或有机硅消泡剂,所述缓冲剂为乳酸钠或碳酸氢钠。
5.一种用于单晶硅的制绒方法,其特征在于,利用如权利要求1所述制绒液对单晶硅片进行制绒,具体方法如下:(1)将碱性物质溶于水中配制成碱液,并将制绒添加剂、低共熔溶剂、水与碱性物质按质量比例混合均匀;
(2)将单晶硅片置于预处理液中浸泡处理后超声、清洗,备用;
(3)将预处理后的单晶硅片浸入由步骤(1)制得的制绒液中进行表面制绒,制绒后的单晶硅片依次经水、无水乙醇清洗,各三次,得到绒面单晶硅硅片。
6.根据权利要求5所述的一种用于单晶硅的制绒方法,其特征在于,步骤(2)中,所述预处理液的组份组成,以质量百分比计为:硅酸钠1‑5%、曲拉通X‑100聚乙二醇单辛基苯基醚
0.5‑2%、OP‑10 1‑3%,三聚磷酸钠0.5‑2%,聚醚消泡剂GP‑330 1‑3%,余量为水。
7.根据权利要求5或6所述的一种用于单晶硅的制绒方法,其特征在于,所述步骤(2)中的预处理温度为50‑60℃,超声功率为60‑100W,超声时间为5‑10min,并用无水乙醇清洗干净。
8.根据权利要求5所述的一种用于单晶硅的制绒方法,其特征在于,所述步骤(3)中的制绒温度为50‑85℃,制绒时间为80‑250s。