1.一种真空玻璃封接工艺,其特征在于:包括以下步骤:
1)刻蚀:两片玻璃在边缘对应位置四周采用化学刻蚀或激光刻蚀,作为封接区;
2)一级镀膜:步骤1)得到的封接区上镀膜,镀膜材料为镍铬合金、铁镍铬合金与镍铬钴合金中的一种或多种任意比例的混合物;
3)二级镀膜:在一级镀膜上镀膜,镀膜材料为无氧铜;
4)在两片玻璃之间设置支撑物、在封接区设置焊料、两片玻璃合片对齐封接区、设置吸气剂;
5)真空加热室内加热封接,加热温度130 280℃;
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步骤2)所述的镍铬合金中镍、铬重量比8:2;铁镍铬合金中铁、镍和铬重量比22:50:28;
镍铬钴合金中镍、铬和钴重量比为7:2:1;
在步骤2)所述的一级镀膜之前,采用真空蒸发镀或磁控测射镀在封接区表面镀二氧化硅膜,或采用喷镀在封接区表面镀二氧化硅膜或聚酰亚胺膜,厚度为10 100nm。
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2.根据权利要求1所述的真空玻璃封接工艺,其特征在于:步骤2)所述的镀膜厚度为
0.05 10μm,步骤3)所述的镀膜厚度为0.05 10μm。
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3.根据权利要求1所述的真空玻璃封接工艺,其特征在于:所述的步骤2)所述的镀膜厚度为0.1 0.2μm,步骤3)所述的镀膜厚度为1 2μm。
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4.根据权利要求1所述的真空玻璃封接工艺,其特征在于:步骤2)与步骤3)所述的镀膜的厚度之和为1.6 20μm。
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5.根据权利要求1所述的真空玻璃封接工艺,其特征在于:步骤2)、步骤3)后依次重复步骤2)、步骤3)一次或多次,在封接区表面镀两次或多次一级镀膜与二级镀膜,多个一级镀膜与二级镀膜总厚度为1.6 20μm。
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6.根据权利要求1所述的真空玻璃封接工艺,其特征在于:步骤2)或步骤3)所述的镀膜采用的是电镀、化学镀、喷雾热解法镀膜、真空蒸发镀或磁控测射镀。
7.根据权利要求1所述的真空玻璃封接工艺,其特征在于:步骤1)所述的化学刻蚀采用
30 50%质量浓度的氢氟酸刻蚀5 15min,然后采用清洗剂超声波清洗30 120min,刻蚀的封~ ~ ~接区宽度为5 8mm。
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8.根据权利要求1所述的真空玻璃封接工艺,其特征在于:步骤4)所述的焊料为锡铜合金焊料。