1.一种类X形谐振腔等离子波导浓度传感器，包括全部等厚度的基底层(1)、金属层(2)、直波导(3)、金属挡板(4)和三个谐振腔，所述的金属层(2)位于基底层(1)上方，在所述的金属层(2)中分别嵌有直波导(3)和三个谐振腔，三个所述的谐振腔内填充待测物质，所述的直波导(3)中填充空气，所述的金属挡板(4)嵌于直波导(3)中，所述的金属挡板(4)的中心与直波导(3)的中心相同，其特征在于：三个所述的谐振腔同时位于直波导(3)的一侧且之间有间隔，距离直波导(3)由近及远排列顺序为：第一谐振腔(5)、第二谐振腔(6)和第三谐振腔(7)，第二谐振腔(6)为一个矩形腔，第一谐振腔(5)与第三谐振腔(7)均为两段相同结构的扇环连接成一体的双扇环腔，直线b穿过第二谐振腔(6)的中心并与直波导(3)的长度方向平行，第一谐振腔(5)与第三谐振腔(7)相对直线b成镜像对称，第一谐振腔(5)与第三谐振腔(7)相对的两段扇环同圆心，并且两组圆心位于直线b上；所述的直波导(3)的中心与第二谐振腔(6)的中心连线a垂直于直波导(3)的长度方向，本传感器在水平面以所述的连线a成镜像对称；入射光能够由直波导(3)的任意一侧入射、另外一侧出射；当入射光进入本传感器，激发SPPs，SPPs由直波导(3)耦合进入第一谐振腔(5)，由第一谐振腔(5)耦合进入第二谐振腔(6)，然后由第二谐振腔(6)耦合进入第三谐振腔(7)，再由第三谐振腔(7)耦合进入第二谐振腔(6)，由第二谐振腔(6)耦合进入第一谐振腔(5)，最后由第一谐振腔(5)耦合进入直波导(3)，并由直波导(3)输出；三个谐振腔为产生Fano共振提供窄带的离散态，在入射光波长范围内产生两个Fano共振。

2.根据权利要求1所述的一种类X形谐振腔等离子波导浓度传感器，其特征在于：三个相互耦合的谐振腔构建类X形谐振腔等离子波导，并在激发的表面等离极化激元中引入透射离散态，进而产生Fano共振，通过改变谐振腔的结构参数，进而调节Fano共振的波长，当谐振腔中均填充待测物质，通过测量Fano共振的波长、并依据待测物质的折射率与待测物质的浓度间的关系，得到待测物质浓度。

3.根据权利要求1所述的一种类X形谐振腔等离子波导浓度传感器，其特征在于：所述的第一谐振腔(5)和第三谐振腔(7)任一侧之间弧形缺失段到该侧圆心的角度θ＝80°‑

120°。

4.根据权利要求3所述的一种类X形谐振腔等离子波导浓度传感器，其特征在于：当第一谐振腔(5)和第三谐振腔(7)的每段扇环的内径r1和外径r2满足r1+r2＝360nm时，扇环的环宽的增大使两个Fano共振产生蓝移。

5.根据权利要求3所述的一种类X形谐振腔等离子波导浓度传感器，其特征在于：当第一谐振腔(5)和第三谐振腔(7)的每段扇环的内径r1和外径r2均固定不变时，角度θ的增大使两个Fano共振产生蓝移。

6.根据权利要求3所述的一种类X形谐振腔等离子波导浓度传感器，其特征在于：当所述的第一谐振腔(5)和第三谐振腔(7)的每段扇环的环宽固定不变时，每段扇环的外径r2或内径r1的增大使两个Fano共振产生红移。

7.根据权利要求1‑6任一项所述的一种类X形谐振腔等离子波导浓度传感器，其特征在于：以平行于所述的直波导(3)的长度方向为y轴，在同一水平面内且垂直于y轴的方向为x轴，同时垂直与x轴和y轴，即传感器厚度方向为z轴；直波导(3)的中心与第二谐振腔(6)的中心间的距离为175nm，直波导(3)的沿x轴方向长度为50nm；金属挡板(4)沿x轴方向的长度为50nm，沿y轴方向的长度为20nm；扇环的外径r2的范围为190nm至220nm，扇环的环宽为

30nm至70nm，两组圆心间的距离为100nm；第二谐振腔沿x轴方向的长度为100nm，沿y轴方向的长度为50nm，入射光波长范围为600nm～1600nm。

8.根据权利要求7所述的一种类X形谐振腔等离子波导浓度传感器，其特征在于：所述的基底层(1)材料为二氧化硅；所述的金属层(2)和金属挡板(4)材料均为银。