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专利号: 2021224294905
申请人: 苏州微邦电子有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2025-04-15
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体加工用测试装置,包括底座(10)、设置于所述底座(10)顶端的机架(20)和工业摄像头(30),所述机架(20)顶端表面固定安装有气缸(21),所述气缸(21)输出端贯穿机架(20)且固定安装有驱动部(22),其特征在于:所述驱动部(22)底端表面固定安装有连接部(23),所述连接部(23)底部四周开设有向上延伸的容纳槽(25),所述工业摄像头(30)顶端固定安装有固定板(31),所述固定板(31)顶端四周固定安装有滑板(32),所述滑板(32)与所述容纳槽(25)相适应、且一一对应设置。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用测试装置,其特征在于:所述容纳槽(25)底端开设有向上延伸的插槽(26),所述滑板(32)内壁表面固定安装有插块(35),所述插块(35)与所述插槽(26)相适应、且一一对应设置。

3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用测试装置,其特征在于:所述连接部(23)外壁四周位于容纳槽(25)两侧处固定安装有锁止板(24),所述滑板(32)顶端固定连接有导向块(33)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体加工用测试装置,其特征在于:所述导向块(33)表面开设有螺栓孔(34),所述锁止板(24)外部螺纹安装有紧固螺栓。

5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用测试装置,其特征在于:所述驱动部(22)外壁两侧固定安装有限位杆,所述机架(20)内壁表面开设有与限位杆相匹配的限位槽,所述限位杆在所述限位槽内滑动。

6.根据权利要求1所述的一种半导体加工用测试装置,其特征在于:所述底座(10)顶端表面固定安装有工作台。