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专利号: 2021221034910
申请人: 江苏晶杰光电科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2025-04-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶体表面平整度检测设备,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的上表面设置有限位机构(2),所述工作台(1)的上表面固定连接有检测机构(4),所述工作台(1)的表面固定连接有取下机构(5),所述工作台(1)的表面固定连接有成品箱(6)和次品箱(7);

所述限位机构(2)包括基座(201),所述基座(201)的上表面开设有取放槽(202),所述基座(201)的上表面固定连接有限位块(203),所述基座(201)的下表面设置有驱动机构(3);

所述取下机构(5)包括电动推杆(501),所述电动推杆(501)的输出端固定连接有电动转轴一(502),所述电动转轴一(502)的表面固定连接有气缸二(503),所述气缸二(503)的输出端固定连接有电动转轴二(504),所述电动转轴二(504)的表面固定连接有插板(505)。

2.根据权利要求1所述的一种晶体表面平整度检测设备,其特征在于:所述驱动机构(3)包括移动槽(301),所述移动槽(301)位于工作台(1)的表面,所述移动槽(301)的内壁滑动连接有连接座(302),所述工作台(1)的下表面固定连接有气缸一(303)。

3.根据权利要求2所述的一种晶体表面平整度检测设备,其特征在于:所述连接座(302)的上表面与基座(201)固定连接,所述气缸一(303)的输出端与连接座(302)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶体表面平整度检测设备,其特征在于:所述检测机构(4)包括检测箱(401),所述检测箱(401)的内壁固定连接有检测仪(402),所述检测箱(401)的侧面开设有进口(403),所述检测箱(401)在远离进口(403)的侧面开设有出口(404)。

5.根据权利要求4所述的一种晶体表面平整度检测设备,其特征在于:所述出口(404)和进口(403)的形状均与限位机构(2)适配,所述检测仪(402)的位置与限位机构(2)适配。

6.根据权利要求2所述的一种晶体表面平整度检测设备,其特征在于:所述取下机构(5)的数量有两个,两个所述取下机构(5)的位置均与移动槽(301)适配。

7.根据权利要求1所述的一种晶体表面平整度检测设备,其特征在于:所述插板(505)的形状与取放槽(202)适配,所述插板(505)的表面设置有防滑涂层。

8.根据权利要求1所述的一种晶体表面平整度检测设备,其特征在于:所述工作台(1)的下表面固定连接有支撑腿(8),所述支撑腿(8)的一端固定连接有防滑垫。