欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13336804447 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13336804447
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2021116378886
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2026-04-06
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种基于电场作用修正硅基材料晶格缺陷的方法,其特征在于,包括以下步骤:将硅基材料进行清洗处理;

将所述清洗处理后的硅基材料采用湿法刻蚀方法进行刻蚀处理;

将所述刻蚀处理后的硅基材料先进行预热处理,所述预热处理的温度为900~1300℃,之后在高温状态下施加直流电场进行晶格缺陷的修正。

2.根据权利要求1所述的一种基于电场作用修正硅基材料晶格缺陷的方法,其特征在于,所述预热处理的时间为20~30min。

3.根据权利要求1所述的一种基于电场作用修正硅基材料晶格缺陷的方法,其特征在于,所述直流电场的电流大小为0~100A,所述直流电场的施加时间为20~30min。

4. 根据权利要求1所述的一种基于电场作用修正硅基材料晶格缺陷的方法,其特征在于,所述刻蚀处理为各向同性刻蚀,刻蚀剂为HNO3、HF 和水的混合溶液。

5. 根据权利要求4所述的一种基于电场作用修正硅基材料晶格缺陷的方法,其特征在于,所述刻蚀剂中HNO3、HF 和水的质量比为(4~9):(1~3):(1~3)。

6.根据权利要求4所述的一种基于电场作用修正硅基材料晶格缺陷的方法,其特征在于,所述刻蚀剂中还添加有CH3COOH溶液。

7. 根据权利要求6所述的一种基于电场作用修正硅基材料晶格缺陷的方法,其特征在于,所述刻蚀剂中HNO3、HF 、CH3COOH和水的质量比为(4~9):(1~3):(0.1~0.5):(1~3)。

8.根据权利要求1所述的一种基于电场作用修正硅基材料晶格缺陷的方法,其特征在于,所述清洗处理包括以下步骤:先将硅基材料置于碳氢清洗剂中进行浸泡清洗;

再将硅基材料用去离子水冲洗清洗;

之后再将硅基材料置于无水乙醇中进行浸泡清洗;

最后再将硅基材料置于酸性溶液中进行浸泡清洗。

9.根据权利要求8所述的一种基于电场作用修正硅基材料晶格缺陷的方法,其特征在于,所述酸性溶液为HF溶液。