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专利号: 2021114926443
申请人: 洛阳理工学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种Nb2O5/AgNW双层结构柔性透明导电薄膜的制备方法,其特征在于包括以下步骤:(1)依次用无水乙醇和去离子水超声清洗衬底,并用高纯氮气吹干,备用;

(2)将银纳米线AgNW与无水乙醇混合均匀制成混合溶液;

(3)将步骤(1)处理好的衬底吸附在匀胶机上,在衬底表面均匀旋涂步骤(2)制备的AgNW与无水乙醇的混合溶液;

(4)将步骤(3)旋涂好银纳米线的衬底放置在烘箱中烘干;

(5)将步骤(4)烘干后的衬底固定到磁控溅射样品台上,衬底涂有银纳米线的一面朝向磁控溅射系统的真空腔体;

(6)将Nb2O5靶材装入真空腔体内,靶材与衬底的距离控制在40~90mm;

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(7)将磁控溅射系统的本底真空度抽至2.0×10 ~1.0×10 Pa,通入50sccm的氩气,压强调节为0.3~5Pa,溅射功率为20~100W,通过沉积在衬底的银纳米线表面得到Nb2O5薄膜;

(8)待步骤(7)沉积完成后,将步骤(7)中获得的薄膜取出,即得到Nb2O5/AgNW双层结构柔性透明导电薄膜。

2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于步骤(1)的衬底选用PET、PC、PEN、CPI柔性透明衬底中的一种。

3.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于步骤(2)混合溶液中银纳米线的浓度为1~2mg/ml。

4.如权利要求1‑3任一所述的制备方法,其特征在于步骤(3)匀胶机参数设置为500~

2000rpm,时间为5~60s。

5.如权利要求1‑3任一所述的制备方法,其特征在于步骤(4)中烘箱的温度为50~80℃。

6.如权利要求1‑3任一所述的制备方法,其特征在于步骤(7)中银纳米线表面得到厚度为20~100nm的Nb2O5薄膜。

7.如权利要求1‑3任一所述的制备方法,其特征在于步骤(7)中银纳米线表面得到厚度为50~100nm的Nb2O5薄膜。

8.如权利要求1‑3任一所述的制备方法,其特征在于步骤(7)中氩气的纯度在99.99%以上。

9.如权利要求1‑3任一所述的制备方法,其特征在于步骤(6)Nb2O5靶材中Nb2O5的纯度为

99.99%。

10.如权利要求1‑3任一所述的制备方法,其特征在于所制备的Nb2O5/AgNW双层结构柔性透明导电薄膜在波长为550nm时,光学透过率在88%以上,方块电阻为低于13Ω/sq。