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专利号: 202111484191X
申请人: 西南交通大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-01-05
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摘要:

权利要求书:

1.一种ZVO/ZnO异质结光催化剂,其特征在于,以V和ZnO作为靶材,通过磁控溅射得到的ZVO薄膜层和ZVO薄膜层上方的ZnO薄膜层,所述ZVO/ZnO异质结光催化剂的制备方法如下:

以V和ZnO作为靶材,控制基底自转,在惰性气体保护下,两个靶材同时进行磁控溅射,得到中间体,将中间体放入马沸炉中退火,得到ZVO薄膜层,然后再以ZnO作为靶材,控制基底自转,在惰性气体保护下,在ZVO薄膜层上磁控溅射一层ZnO薄膜层,而后将产物放入马沸炉中退火,得到ZVO/ZnO异质结光催化剂,在溅射制备ZVO薄膜层时,ZnO靶的溅射电流为

0.05~0.15A,V靶的溅射功率为200W,溅射时间90~150min;在溅射制备ZnO薄膜层时,ZnO靶的溅射功率为100W,溅射时间30~90min,所述马沸炉的退火温度为500~600℃,退火时间为100~150min;

ZnO靶采用射频溅射源,V靶采用直流溅射源。

2.一种ZVO/ZnO异质结光催化剂的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:以V和ZnO作为靶材,控制基底自转,在惰性气体保护下,两个靶材同时进行磁控溅射,得到中间体,将中间体放入马沸炉中退火,得到ZVO薄膜层,然后再以ZnO作为靶材,控制基底自转,在惰性气体保护下,在ZVO薄膜层上磁控溅射一层ZnO薄膜层,而后将产物放入马沸炉中退火,得到ZVO/ZnO异质结光催化剂;

在溅射制备ZVO薄膜层时,ZnO靶的溅射电流为0.05~0.15A,V靶的溅射功率为200W,溅射时间90~150min;在溅射制备ZnO薄膜层时,ZnO靶的溅射功率为100W,溅射时间30~

90min;

所述马沸炉的退火温度为500~600℃,退火时间为100~150min。

3.根据权利要求2所述的一种ZVO/ZnO异质结光催化剂的制备方法,其特征在于,以FTO导电玻璃作为基底。

4.根据权利要求3所述的一种ZVO/ZnO异质结光催化剂的制备方法,其特征在于,在进行磁控溅射前,先依次采用丙酮溶液、无水乙醇、去离子水对FTO基底进行超声清洗。

5.根据权利要求2所述的一种ZVO/ZnO异质结光催化剂的制备方法,其特征在于,在进‑4行磁控溅射前,先对溅射舱进行抽真空处理,在真空度降至5×10 Pa时,向溅射舱内通入溅射气体氩气。