1.一种碲硒砷镉化合物的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)将碲化镉颗粒、碲硒镉颗粒和砷化镉颗粒混合均匀,置于研磨机内研磨成粉末,碲化镉颗粒、碲硒镉颗粒和砷化镉颗粒三者的摩尔比为(60‑90): (0.999‑39.99): (0.001~
0.01);
2)将上述研磨好的混合物料装入石墨坩埚内,将石墨坩埚放入带有液压装置的真空烧‑9结炉内,液压装置将坩埚内的混合物料压实,抽真空至10 Torr,然后向真空烧结炉内充保护气体,抽真空与充保护气循环,循环过程中真空烧结炉内气压始终低于大气压,最后对石墨坩埚密封,并充保护气体使真空烧结炉内气压在0.1‑100Torr之间;所述保护气为氩氢混合气;
3)对密封好的石墨坩埚进行加热,升温速率为1~5℃/min,加热至700~900℃,保温30~60min,保温结束后,停止加热,自然降温至室温,即得碲硒砷镉化合物。
2.根据权利要求1所述碲硒砷镉化合物的制备方法,其特征在于,步骤1)中碲化镉颗粒、碲硒镉颗粒和砷化镉颗粒的纯度均为5N级以上;所述研磨机为行星研磨机。
3.根据权利要求1所述碲硒砷镉化合物的制备方法,其特征在于,步骤1)中碲化镉颗粒、碲硒镉颗粒和砷化镉颗粒研磨成粉末,研磨时间4‑6h,粉末粒径为不大于200微米。
4.一种碲硒砷镉化合物,其特征在于,由权利要求1‑3任一所述制备方法制得。
5.一种碲硒砷镉靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)将碲化镉颗粒、碲硒镉颗粒和砷化镉颗粒混合,置于研磨机内研磨成粉末,碲化镉颗粒、碲硒镉颗粒和砷化镉颗粒三者的摩尔比为(60‑90): (0.999‑39.99): (0.001~0.01);
2)将上述混合均匀的物料放入模具中室温压片成靶材坯,压片成形的靶材坯装入石墨‑9治具内,将石墨治具放入带有液压装置的真空烧结炉内,抽真空至10 Torr,然后向真空烧结炉内充保护气体,最后对石墨治具密封,使用真空烧结炉自带的液压装置对石墨治具内的靶材坯加压保持为50MPa‑80MPa ,并充保护气体使真空烧结炉内气压在0.1‑100Torr之间;
3)对密封好的石墨治具进行加热,升温速率为1~3℃/min,加热至800~900℃,保温1~2h,保温结束后,停止加热,自然降温至室温,打开真空烧结炉得到碲硒砷镉靶材。
6.根据权利要求5所述碲硒砷镉靶材的制备方法,其特征在于,步骤1)中碲化镉颗粒、碲硒镉颗粒和砷化镉颗粒的纯度均为5N级以上;所述研磨机为行星研磨机。
7.根据权利要求5所述碲硒砷镉靶材的制备方法,其特征在于,步骤2)中压片成靶材坯时的压强为50MPa‑80MPa ,靶材坯为厚度6mm‑10mm的平面圆形或平面长方形。
8.根据权利要求5所述碲硒砷镉靶材的制备方法,其特征在于,步骤2)中将石墨治具放入带有液压装置的真空烧结炉内,抽真空与充保护气循环,循环过程中真空烧结炉内气压始终低于大气压。
9.一种碲硒砷镉靶材,其特征在于,由权利要求5‑8任一所述制备方法制得。