1.单管前端双光束平行输出超辐射发光二极管,自上而下依次是上电极(1)、覆盖层(2)、上限制层(3)、上波导(4)、有源层(5)、下波导(6)、下限制层(7)、衬底(8)、下电极(9),其中,由下电极(9)、衬底(8)、下限制层(7)、下波导(6)、有源层(5)构成超辐射发光二极管的立方体状主体,所述主体的各层长度、宽度相同,厚度不同;其特征在于,由上波导(4)、上限制层(3)、覆盖层(2)、上电极(1)构成所述超辐射发光二极管的组合波导,所述组合波导由一个曲率渐变区域波导(11)与两个输出波导(12)构成,两个输出波导(12)走向彼此平行,且分别位于曲率渐变区域波导(11)的前左端、前右端,曲率渐变区域波导(11)的俯视形状为由一条曲率渐变曲线和一条直线围拢的图形,所述组合波导在主体上一次刻蚀而成,有源层(5)前端面与所述两个输出波导(12)各自的前端面对应的部分均为出光窗口(10),两个出光窗口(10)制作有相同的抗反射涂层。
2.根据权利要求1所述的单管前端双光束平行输出超辐射发光二极管,其特征在于,所述曲率渐变曲线为渐开线,包括极坐标方程为R=R0(1+εcos(θ))的蜗线,或者极坐标方程为 的螺线,式中:R为极半径,θ为极角,且θ=0°~π,ε为变形系数,且ε=0.3~2,R0为特征半径,也就是当蜗线的极角θ=π/2时、螺线的极角θ=0°时的极半径。
3.根据权利要求1所述的单管前端双光束平行输出超辐射发光二极管,其特征在于,所述输出波导(12)有两种方案,第一种是两个输出波导(12)均为直波导,第二种是两个输出波导(12)均为斜波导。