1.一种堵塞微反应器的处理系统,其特征在于,所述处理系统包括进气装置、冲洗装置和待处理微反应器和等离子体处理装置;
所述待处理微反应器(11)的一端通过管道与进气装置和冲洗装置连接;
所述待处理微反应器(11)的另一端通过管道与废液瓶(16)连接;
所述待处理微反应器(11)置于等离子体处理装置的电极(9)之间。
2.根据权利要求1所述的处理系统,其特征在于,所述待处理微反应器(11)与进气装置通过管道连接,之间设有四通阀(7),四通阀(7)的三个阀门分别与空气钢瓶(1)、氧气钢瓶(2)和氩气钢瓶(3)连接。
3.根据权利要求2所述的处理系统,其特征在于,所述进气装置还设有调节气体流量的质量流量控制计(4);质量流量控制计(4)的开度为20‑50sccm。
4.根据权利要求1所述的处理系统,其特征在于,所述冲洗装置包括注射泵(5)和注射器(6),注射器(6)通过三通阀(8)分别与四通阀(7)的第四个阀门和待处理微反应器(11)连接。
5.根据权利要求1所述的处理系统,其特征在于,所述等离子处理装置包括电极(9)、交流电源(12)和示波器(13),电极(9)与待处理微反应器(11)之间还设有石英薄片(10)。
6.根据权利要求5所述的处理系统,其特征在于,所述电极(9)为不锈钢、铜、锌或铁电2
极;形状为圆形、正方形、三角形、长方形或其他不规则图形,处理面积为1‑100cm ;所述石英薄片(10)的边缘大于电极(9)边缘1‑2cm,厚度为1‑3mm。
7.根据权利要求1所述的处理系统,其特征在于,所述处理系统还包括监视装置,所述监视装置包括摄像头(15)和显示器(14)。
8.根据权利要求1所述的处理系统,其特征在于,所述显示器(14)为电脑。
9.根据权利要求1所述的处理系统,其特征在于,所述待处理微反应器(11)的材质为玻璃、石英、陶瓷或硼硅砂。
10.一种采用权利要求1所述处理系统处理堵塞微反应器的方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:
(1)将待处理微反应器(11)置于等离子体处理装置的电极(9)之间,并在待处理微反应器(11)上下两面各放置一片略大于电极(9)石英薄片(10)用于介质阻挡及保护微反应器;
(2)打开四通阀(7),调节质量流量控制计(4)的开度大小,使空气钢瓶(1)、氧气钢瓶(2)、氩气钢瓶(3)中的一种或多种混合气体,进入微反应器(11);
(3)打开交流电源(12),调节示波器(13),待示波器(13)显示稳定后,收集此时交流电源(12)的输出功率;交流电源(12)施加的输出功率为1.5‑5W,处理时间为3‑10min;
(4)通过与显示器(14)相连的摄像头(15),实时在线观察待处理微反应器(11)内堵塞物情况,待堵塞物基本裂解,关闭交流电源(12);
(5)开启注射泵(5),控制注射泵(5)输出量,输出流量为0.1‑2mL/min,流通时间为3‑
15min,使注射器(6)内部清洁液通入待处理微反应器(11),废液瓶(16)用于收集清洁液;待管路内堵塞物完全排出,即可关闭四通阀(7)与注射泵(5);
所述清洁液为水、乙醇或丙酮。