1.一种核用Zr合金表面的Cr涂层的制备方法,其特征在于:包括Zr合金基体预处理和沉积Cr涂层,所述沉积Cr涂层是电弧离子镀进行沉积,电弧离子镀中靶电流为80 100A,偏~
压为‑150 ‑200V,每沉积1h,将偏压调至600 650V,保持3 5min,沉积过程中采用阳极层离~ ~ ~
子源进行辅助沉积。
2.如权利要求1所述的一种核用Zr合金表面的Cr涂层的制备方法,其特征在于:所述沉积温度为220 300℃,沉积时间为6 8h,沉积压强为0.5 1Pa。
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3.如权利要求1或2所述的一种核用Zr合金表面的Cr涂层的制备方法,其特征在于:所述阳极层离子源功率为0.8 1kw,频率为150 200kHz。
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4.如权利要求1‑3任一项所述的一种核用Zr合金表面的Cr涂层的制备方法,其特征在于:所述Zr合金预处理依次为打磨、抛光、清洗和离子源溅射,其中离子源预溅射是调节真‑3
空至3~5×10 Pa,通入Ar,使得气压达到2 3Pa,调节偏压为‑800V,离子源功率为2kw,溅射~
时间为20 30min。
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5.如权利要求4所述的一种核用Zr合金表面的Cr涂层的制备方法,其特征在于:所述打磨是依次采用100#、400#、1000#和2000#的SiC砂纸对Zr合金基体表面进行打磨。
6.如权利要求4或5所述的一种核用Zr合金表面的Cr涂层的制备方法,其特征在于:所述抛光是将打磨后的Zr合金基体依次采用粒度为1.5μm的金刚石抛光液和粒度为0.06μm的SiO2悬浊液进行抛光。
7.一种核用Zr合金表面的Cr涂层的制备方法,其特征在于,按如下步骤进行:步骤1:Zr合金基体预处理
(1)依次采用100#、400#、1000#和2000#的SiC砂纸对Zr合金基体表面进行打磨;
(2)将打磨后的Zr合金基体依次采用粒度为1.5μm的金刚石抛光液和粒度为0.06μm的SiO2悬浊液进行抛光,然后依次用丙酮、无水乙醇进行超声清洗10min,然后吹干;
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(3)将Zr合金基体置于电弧离子镀炉内,调节真空至3~5×10 Pa,通入Ar,使得气压达到2 3Pa,调节偏压为‑800V,离子源功率为2kw,溅射时间为20 30min;
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步骤2:沉积Cr涂层
将Zr合金基体加热至220 300℃,通入Ar,Ar流量为100 120sccm,调节沉积压强为0.5~ ~ ~
1Pa,以Cr靶作为阴极,靶电流为80 100A,调节偏压为‑150 ‑200V,进行沉积6 8h,每隔1h,~ ~ ~
调节偏压至600 650V,保持3 5min,然后恢复至原偏压,整个沉积过程中采用阳极层离子源~ ~
进行辅助沉积,离子源功率为0.8 1kw,频率为150 200kHz,沉积结束后,沉积了Cr涂层的Zr~ ~
合金基体随炉冷却。