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专利号: 2021111360674
申请人: 重庆文理学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-01-05
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摘要:

权利要求书:

1.一种核用Zr合金表面的Cr涂层的制备方法,其特征在于:包括Zr合金基体预处理和沉积Cr涂层,所述沉积Cr涂层是电弧离子镀进行沉积,电弧离子镀中靶电流为80 100A,偏~

压为‑150 ‑200V,每沉积1h,将偏压调至600 650V,保持3 5min,沉积过程中采用阳极层离~ ~ ~

子源进行辅助沉积。

2.如权利要求1所述的一种核用Zr合金表面的Cr涂层的制备方法,其特征在于:所述沉积温度为220 300℃,沉积时间为6 8h,沉积压强为0.5 1Pa。

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3.如权利要求1或2所述的一种核用Zr合金表面的Cr涂层的制备方法,其特征在于:所述阳极层离子源功率为0.8 1kw,频率为150 200kHz。

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4.如权利要求1‑3任一项所述的一种核用Zr合金表面的Cr涂层的制备方法,其特征在于:所述Zr合金预处理依次为打磨、抛光、清洗和离子源溅射,其中离子源预溅射是调节真‑3

空至3~5×10 Pa,通入Ar,使得气压达到2 3Pa,调节偏压为‑800V,离子源功率为2kw,溅射~

时间为20 30min。

~

5.如权利要求4所述的一种核用Zr合金表面的Cr涂层的制备方法,其特征在于:所述打磨是依次采用100#、400#、1000#和2000#的SiC砂纸对Zr合金基体表面进行打磨。

6.如权利要求4或5所述的一种核用Zr合金表面的Cr涂层的制备方法,其特征在于:所述抛光是将打磨后的Zr合金基体依次采用粒度为1.5μm的金刚石抛光液和粒度为0.06μm的SiO2悬浊液进行抛光。

7.一种核用Zr合金表面的Cr涂层的制备方法,其特征在于,按如下步骤进行:步骤1:Zr合金基体预处理

(1)依次采用100#、400#、1000#和2000#的SiC砂纸对Zr合金基体表面进行打磨;

(2)将打磨后的Zr合金基体依次采用粒度为1.5μm的金刚石抛光液和粒度为0.06μm的SiO2悬浊液进行抛光,然后依次用丙酮、无水乙醇进行超声清洗10min,然后吹干;

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(3)将Zr合金基体置于电弧离子镀炉内,调节真空至3~5×10 Pa,通入Ar,使得气压达到2 3Pa,调节偏压为‑800V,离子源功率为2kw,溅射时间为20 30min;

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步骤2:沉积Cr涂层

将Zr合金基体加热至220 300℃,通入Ar,Ar流量为100 120sccm,调节沉积压强为0.5~ ~ ~

1Pa,以Cr靶作为阴极,靶电流为80 100A,调节偏压为‑150 ‑200V,进行沉积6 8h,每隔1h,~ ~ ~

调节偏压至600 650V,保持3 5min,然后恢复至原偏压,整个沉积过程中采用阳极层离子源~ ~

进行辅助沉积,离子源功率为0.8 1kw,频率为150 200kHz,沉积结束后,沉积了Cr涂层的Zr~ ~

合金基体随炉冷却。