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专利号: 2021110947807
申请人: 内蒙古晶祥工贸有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种单晶炉真空检测系统,包括固定筒(1),其特征在于,所述固定筒(1)水平放置,所述固定筒(1)圆周外壁的底端连接有连接管(2),所述固定筒(1)圆周外壁的一侧连接有抽气管(3),所述固定筒(1)两端内壁之间的中间位置转动连接有水平放置的安装筒(4),且安装筒(4)的一端传动连接有驱动电机,所述固定筒(1)远离驱动电机的一端与安装筒(4)中心对应的位置固定有真空度检测仪(5),且真空度检测仪(5)的探针伸入至安装筒(4)内,所述安装筒(4)圆周外壁的一侧固定有连接板(6),且连接板(6)远离安装筒(4)的一端固定有弧形结构的挡板(7),挡板(7)的外壁与固定筒(1)的内壁滑动连接,所述安装筒(4)圆周外壁远离连接板(6)的一侧固定有滤网座(8),所述固定筒(1)的两端开口设置,且固定筒(1)的两端均可拆卸连接有密封盖板(9),固定筒(1)圆周内壁底部靠近抽气管(3)的一侧固定有限位框(10),挡板(7)的外壁与限位框(10)的内壁滑动连接,滤网座(8)远离安装筒(4)的一端固定有弧形结构的滑动板(11),滑动板(11)的外壁与固定筒(1)的内壁滑动连接,利用连接管(2)将固定筒(1)连接于炉体外,而通过抽气管(3)与真空泵连接以通过固定筒(1)内的腔室将炉体内进行抽真空,此时状态下的挡板(7)位于连接管(2)和抽气管(3)之间的位置不影响正常的抽真空作业,而利用连接板的阻挡使炉体内气流从上方的滤网座(8)穿过再从抽气管(3)被抽出,在稳定真空后使挡板(7)随着安装筒(4)周期性往复转动,当挡板(7)转动至抽气管(3)位置时将抽气管(3)封堵,此状态下真空度检测仪(5)检测炉体内真空度的稳定情况或变化情况,当挡板(7)转动至连接管(2)位置时将连接管(2)封堵,此状态下真空度检测仪(5)对抽气管(3)连接的真空管道的真空度变化情况进行检测。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空检测系统,其特征在于,所述安装筒(4)靠近滤网座(8)的一侧设置成固定网板(15),且滤网座(8)固定于固定网板(15)的中间位置,安装筒(4)圆周内壁的两侧之间固定有弧形结构的导流板(18),导流板(18)的中间位置向着靠近滤网座(8)的一侧拱起,导流板(18)位于真空度检测仪(5)的探针靠近滤网座(8)的一侧,安装筒(4)远离固定网板(15)的一侧设置成连接网板(19),连接网板(19)位于连接板(6)靠近抽气管(3)的一侧。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉真空检测系统,其特征在于,所述滤网座(8)设置有穿透固定于固定网板(15)的第一滤网板(12)和第二滤网板(13),且第一滤网板(12)和第二滤网板(13)之间构成有连接腔(14),固定网板(15)外壁与连接腔(14)对应的位置开设有水平方向等距离分布的连接孔(16),第二滤网板(13)位于靠近连接网板(19)的一侧,第二滤网板(13)网孔的孔径小于第一滤网板(12)网孔的孔径。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉真空检测系统,其特征在于,所述连接腔(14)的两侧内壁之间固定有等距离分布的隔板(17),且隔板(17)的截面设置成V型结构,隔板(17)的中间位置向着靠近安装筒(4)弯折。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉真空检测系统,其特征在于,所述导流板(18)靠近滤网座(8)的一侧开设有等距离分布的导流槽(1801),且导流槽(1801)设置成类孔状结构,导流槽(1801)的内径向内逐渐收缩。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空检测系统,其特征在于,所述固定筒(1)两端内壁之间的两侧均固定有连接筒(20),且靠近抽气管(3)一侧的连接筒(20)设置于抽气管(3)的上方位置,远离抽气管(3)一侧的连接筒(20)设置于抽气管(3)的下方位置,两个连接筒(20)内均设置有往复移动的活塞机构。

7.根据权利要求6所述的一种单晶炉真空检测系统,其特征在于,所述连接筒(20)的外壁开设有多个风孔(21),且两个连接筒(20)上的风孔(21)分别分布于固定筒(1)的两端位置,活塞机构设置有固定于固定筒(1)端部的电动伸缩杆,电动伸缩杆的一端固定有与连接筒(20)内壁滑动连接的活塞(22),活塞(22)位于对应连接筒(20)远离风孔(21)的一端位置。

8.根据权利要求7所述的一种单晶炉真空检测系统,其特征在于,所述连接筒(20)外壁的风孔(21)设置成多组,每组风孔(21)设置成沿着连接筒(20)的外壁呈环形阵列分布,多组风孔(21)沿着连接筒(20)的轴线等距离分布,连接筒(20)外壁位于每组风孔(21)的两侧均固定有环状结构的引流板(23),引流板(23)设置成向外拱起的弧形结构。

9.根据权利要求8所述的一种单晶炉真空检测系统,其特征在于,所述引流板(23)的圆周内壁开设有环形阵列分布的引流槽(2301),且引流槽(2301)的宽度向着远离连接筒(20)的一端逐渐减小,引流槽(2301)的深度向着远离连接筒(20)的一端逐渐减小。