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专利号: 2021110565450
申请人: 安徽广晟德自动化设备有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 测量;测试
更新日期:2025-06-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种CSP在线光学检测机,其特征在于,包括光学检测机箱体(1),于所述光学检测机箱体(1)两侧分别设置有进料托盘(2)以及出料托盘(3),光学检测返修台(4)设置于光学检测机箱内且所述进料托盘(2)以及出料托盘(3)与所述光学检测返修台(4)两端接合,控制面板(7)设置于光学检测机箱体(1)上进行调控,控制面板(7)内包括有控制中心;

所述光学检测返修台(4)包括依次排布的进料测试模块(42)、显微返修模块(43)、升降托料模块(44)以及拉料收料模块(45),进料测试模块(42)与进料托盘(2)相对应,拉料收料模块(45)与出料托盘(3)对应,所述进料测试模块(42)、显微返修模块(43)、升降托料模块(44)以及拉料收料模块(45)均由所述控制中心控制。

2.根据权利要求1所述的CSP在线光学检测机,其特征在于,所述显微返修模块(43)包括定位装置以及设置于定位装置上的操作平台(437)和显微装置,所述定位装置包括X轴移动模块(431)以及Y轴移动模块(432),Y轴移动模块(432)基于X轴移动模块(431)设置且于Y轴移动模块(432)上设置有显微装置,所述操作平台(437)设置于X轴移动模块(431)上,显微装置位于操作平台(437)上方。

3.根据权利要求2所述的CSP在线光学检测机,其特征在于,所述显微装置包括显微镜模块(435)以及晶圆片(436),所述显微镜模块(435)以及晶圆片(436)均固定于支架上且所述晶圆片(436)设置于显微镜模块(435)正下方。

4.根据权利要求2所述的CSP在线光学检测机,其特征在于,于所述操作平台(437)上还设置有热熔机构(439)、上下压合机构(438)以及吹风风扇(433),所述热熔机构(439)与上下压合机构(438)配合完成产品的返修,吹风风扇(433)用于保持操作平台(437)整洁。

5.根据权利要求4所述的CSP在线光学检测机,其特征在于,于所述Y轴移动模块(432)上还设置有控制手柄(434),控制手柄(434)包括按钮座(4341)、不自锁按钮(4342)以及二档开关(4343),所述不自锁按钮(4342)设置于按钮座(4341)顶部,二档开关(4343)设置于按钮座(4341)侧面,用于控制所述定位装置的X轴和Y轴运动以及锁紧和上下压合机构(438)的封合。

6.根据权利要求1所述的CSP在线光学检测机,其特征在于,所述进料测试模块(42)包括限位机构以及检测机构,所述限位机构与进料托盘(2)接合,检测机构则相邻于限位机构设置,用于完成对产品的定位以及检测。

7.根据权利要求6所述的CSP在线光学检测机,其特征在于,所述检测机构包括相邻于限位机构设置的升降气缸(424)以及固定于限位机构和升降气缸(424)之间的第一相机模块(423),于升降气缸(424)上固定有若干用于检测的探针(425),升降气缸(424)固定于检测安装架上,第一相机模块(423)与探针(425)配合完成对产品的外观以及功能的检测。

8.根据权利要求7所述的CSP在线光学检测机,其特征在于,所述限位机构包括压紧从动机构(421)以及固定压紧气缸(422),所述压紧从动机构(421)设置于进料托盘(2)与光学检测返修台(4)接合处,固定压紧气缸(422)则距离压紧从动机构(421)一定距离设置且位于限位机构和压紧从动机构(421)之间。

9.根据权利要求1所述的CSP在线光学检测机,其特征在于,所述拉料收料模块(45)包括拉料平台,所述拉料平台与出料托盘(3)相接合,于所述拉料平台两侧设置有用于压合产品的限位机构,基于所述拉料平台设置有拉料机构,用于将产品运送至出料托盘(3);所述拉料机构包括对称设置于拉料平台两侧的夹具(451)以及设置于拉料平台底侧的气缸,夹具(451)与气缸配合完成对产品的带出。

10.根据权利要求1所述的CSP在线光学检测机,其特征在于,所述升降托料模块(44)设置于显微返修模块(43)和拉料收料模块(45)之间,升降托料装置包括托料平台(441)以及设置于托料平台(441)底侧的升降装置,于所述托料平台(441)四周设置有限位杆。所述进料测试模块(42)、显微返修模块(43)、升降托料模块(44)以及拉料收料模块(45)依次排布于机架(41)上,于机架(41)顶部还设置有检查模块(49),所述检查模块(49)包括固定于机架(41)顶部的移动模块(491)以及设置于移动模块(491)上的第二相机模块(492),用于检查返修产品情况。

11.根据权利要求10所述的CSP在线光学检测机,其特征在于,于所述机架(41)上还设置有控制显示器(46)和返修显示器(47),所述返修显示器(47)与显微镜模块(435)相连,用于显示显微镜模块(435)所显示的画面,便于维修;所述控制显示器(46)则与所述控制面板(7)相连,用于显示各模块参数信息。

12.根据权利要求10所述的CSP在线光学检测机,其特征在于,于所述机架(41)上还设置有测试仪表箱(48),于所述测试仪表箱(48)内设置有多种测试仪表,多种所述测试仪表与检测机构以及控制中心连通,用于对产品进行测试并将测试数据传输至控制中心。

13.根据权利要求12所述额CSP在线光学检测机,其特征在于,于所述光学检测机箱体(1)上还设置有警示灯(6),所述警示灯(6)与控制中心相连,用于警示测试异常的产品。