1.一种压电执行器的非对称迟滞、蠕变模型及其逆补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：S1提出一种新的迟滞模型，yh(t)＝H[v](t)数学表达式如下：yh＝σ1v+σ2z+σ3                      (1)其中，v∈R，yh∈R分别是模型的输入和输出，z∈R是辅助变量，σ1,σ2,σ3, 是模型参数，其中结合非对称因子和蠕变算子，构建新的非对称迟滞、蠕变模型，得到Ψ[v](t)如下：其中，u(t)为模型的输出，包括压电执行器的非对称迟滞和蠕变输出，v(t)是输入信号，z∈R是非对称迟滞模型中的辅助变量，σ1,σ2,σ3, 是模型参数，xi(t)是每个蠕变算子的输出，λi＞0是微分方程的特征值，NC＞0表示蠕变算子个数为3，ci是每个蠕变算子的权值， 是非对称因子，用于表达非对称的迟滞特性而引入；

S2采集压电执行器的输入输出，根据非对称迟滞、蠕变模型，运用粒子群算法进行模型的参数辨识；

S3运用逆结构方式在非对称迟滞、蠕变模型基础上，构造逆结构补偿器；

S4将逆结构补偿器与压电执行器连接起来，实时补偿压电执行器中的非对称迟滞、蠕变特性，实现压电执行器的精确控制。

2.根据权利要求1所述的一种压电执行器的非对称迟滞、蠕变模型及其逆补偿方法，其特征在于，所述步骤S1结合非对称因子，构建新的非对称迟滞模型具体包括：引入非对称因子 非对称迟滞模型数学表达式如下：yh＝σ1v+σ2z+σ3                       (3)其中， 是非对称因子，用于表达非对称的迟滞特性而引入；σ1表示输入电压和输出位移之间的关系，σ2表示辅助变量和输出位移之间的比率，σ3是模型的初值，是辅助变量z的表达式中的系数，其中 是非对称因子的系数。

3.根据权利要求1所述的一种压电执行器的非对称迟滞、蠕变模型及其逆补偿方法，其特征在于，所述步骤S1在非对称迟滞模型的基础上结合Kelvin‑Voigt蠕变模型来构成显示表达的非对称迟滞、蠕变模型，蠕变模型yc(t)＝C[v](t)数学表达式如下其中v(t)是输入信号，xi(t)是每个蠕变算子的输出，λi＞0是微分方程的特征值，NC＞0表示蠕变算子的个数，ci是每个蠕变算子的权值，yc是蠕变模型的输出，此处设定蠕变算子个数NC＝3。

4.根据权利要求2所述的一种压电执行器的非对称迟滞、蠕变模型及其逆补偿方法，其‑1特征在于，所述步骤S3构建逆补偿器Ψ [ud](t)具体包括：u(t)＝Ψ[v](t)＝σ1v+Θ       (11)

其中hc(·)中包含了非对称迟滞和蠕变特性，z和xi都是输入v的函数，基于逆结构补偿将表达式写作如下形式：