1.一种微细电极端面自动磨平装置，其特征在于：包括底座（10）、设置在底座（10）上端的龙门架（1）、固定在龙门架（1）上的z轴高速电移台（14）、固定在z轴高速电移台（14）下部的x轴微动电移台（13）、固定在x轴微动电移台（13）上的z轴微动电移台（2）、一端固定在z轴微动电移台（2）下部侧面的直角支架（3）、固定在直角支架（3）另一端的位移传感器（4）和电极夹具（5）、固定在底座（10）中心沿y轴方向上的滑轨（9）、固定在滑轨（9）上并能够沿滑轨（9）移动的支架座（8）、一端固定在支架座（8）上的柔性支架（11）；所述支架座（8）通过锁紧螺钉（7）能够固定在滑轨（9）的特定位置；所述柔性支架（11）的另一端上固定有块状砂纸（6）并悬空；所述柔性支架（11）为四分之一圆环状，其内侧固定有用于检测柔性支架（11）形变量的应变传感器（12）。

2.根据权利要求1所述的一种微细电极端面自动磨平装置，其特征在于：所述z轴高速电移台（14）的速度大于10mm/s，重复定位精度小于0.005mm，用于微细电极的初步快速定位。

3.根据权利要求1所述的一种微细电极端面自动磨平装置，其特征在于：所述z轴微动电移台（2）和x轴微动电移台（13）重复定位精度均小于0.003mm，细分后其最小进给分辨率能够达到10nm，z轴微动电移台（2）用于微细电极与砂纸（6）之间接触对刀，x轴微动电移台（13）用于实现微细电极和砂纸（6）之间沿x轴方向的往复机械运动，来实现微细电极的端平面磨削加工。

4.根据权利要求1所述的一种微细电极端面自动磨平装置，其特征在于：所述电极夹具（5）采用三抓夹头用于装夹微细电极，根据需加工微细电极的尺寸范围来选择不同规格的夹头。

5.根据权利要求1所述的一种微细电极端面自动磨平装置，其特征在于：所述砂纸（6）规格采用2000‑10000目。

6.根据权利要求1所述的一种微细电极端面自动磨平装置，其特征在于：所述位移传感器（4）采用激光位移传感器、超声波位移传感器、红外线位移传感器或者其他类型的高精度位移传感器。

7.根据权利要求1所述的一种微细电极端面自动磨平装置，其特征在于：所述柔性支架（11）采用厚度为0.1mm或0.2mm的亚克力矩形板。

8.根据权利要求1所述的一种微细电极端面自动磨平装置，其特征在于：固定砂纸（6）的柔性支架（11）上端平面与水平面夹角为1‑5°，当微细电极与砂纸（6）接触施加一定力并使柔性支架（11）产生变形后砂纸（6）平面与水平面平行，通过柔性支架（11）克服自身重力后的弹性张力为微细电极端平面磨削提供磨削力。

9.根据权利要求1所述的一种微细电极端面自动磨平装置，其特征在于：所述应变传感器（12）为电阻式应变片，在柔性支架（11）未安装且未弯曲变形时固定在柔性支架（11）内侧，通过对其电阻的测量检测柔性支架（11）的形变量，进而通过控制柔性支架形变量的大小来控制微细电极磨削力的大小。

10.一种微细电极端面自动磨平方法，使用如权利要求1‑9任一项所述的微细电极端面自动磨平装置，其特征在于：包括以下步骤：步骤1，定义所需要磨削加工的微细电极端面中心为坐标系原点，通过z轴高速电移台（14）沿z轴方向快速抬起电极夹具（5），为微细电极装夹预留足够的操作空间；

步骤2，将需要磨削加工的微细电极装夹在电极夹具（5）上，根据微细电极柄尺寸范围选择电极夹具（5）的夹头规格；

步骤3，微细电极装夹完成后，移动支架座（8）调整砂纸（6）在y方向上的位置，并转动x轴微动电移台（13）调整微细电极端面在x方向上的位置，使微细电极端面在xy平面内的投影落在砂纸（6）的中间区域，利用z轴高速电移台（14）使微细电极端面快速靠近砂纸（6），通过位移传感器（4）实时测量微细电极端面与砂纸（6）所在平面之间的相对位置；

步骤4，当微细电极端面距砂纸（6）所在平面的距离减小至1‑2mm时，停止z轴高速电移台（14），启动z轴微动电移台（2）使微细电极端面沿z轴方向缓慢靠近砂纸（6），根据所磨削电极直径尺寸适当调整z轴微动电移台（2）的进给速度；

步骤5，当微细电极端面与砂纸（6）接触后，z轴的持续进给会压迫柔性支架（11）弯曲变形，固定在柔性支架（11）内侧的应变传感器（12）能够实时检测柔性支架（11）应变量，通过控制柔性支架（11）的应变量控制磨削力的大小；当柔性支架（11）应变量达到预设值后，停止z轴微动电移台（2），启动x轴微动电移台（13），使微细电极端面在砂纸（6）上沿x轴方向做往复直线运动来完成微电极端平面的磨削加工；

步骤6，随着微细电极磨削量的增加，柔性支架（11）的变形量会减小，通过z轴微动电移台（2）的进给对微细电极磨削量进行补偿，确保微细电极端面磨削力恒定；

步骤7，磨削加工完成后，启动z轴高速电移台（14）快速抬起完成微细电极端平面磨削加工。