1.三维力触觉传感器,其特征在于,包括柔性电路板(2)和至少一个离电压力传感结构(1),所述离电压力传感结构(1)和柔性电路板(2)层叠设置,其中所述柔性电路板(2)的电极层包括至少一个传感单元(21),所述传感单元(21)包括至少四个叉指电极;
所述离电压力传感结构(1)包括底板(11)和与底板(11)一体成型的半球形凸起(12),所述底板(11)与传感单元(21)相接触的面为粗糙面。
2.根据权利要求1所述的三维力触觉传感器,其特征在于,所述半球形凸起(12)的直径和底板(11)的厚度的比例在1‑1000:1的范围内。
3.根据权利要求2所述的三维力触觉传感器,其特征在于,所述半球形凸起(12)的直径和底板(11)的厚度的比例在6‑30:1的范围内。
4.根据权利要求1‑3任一所述的三维力触觉传感器,其特征在于,所述柔性电路板(2)为柔性印制电路多层板。
5.根据权利要求1‑3任一所述的三维力触觉传感器,其特征在于,多个所述传感单元(21)构成叉指电极阵列,所述叉指电极阵列采用一列或一行共用一条位线的方式布置在所述柔性电路板(2)的基板上。
6.根据权利要求4所述的三维力触觉传感器,其特征在于,所述柔性电路板(2)还包括屏蔽层,所述屏蔽层采用共地覆铜的方式布置在所述电极层上。
7.根据权利要求1所述的三维力触觉传感器,其特征在于,所述离电压力传感结构(1)的材质为离电压力传感橡胶。
8.根据权利要求7所述的三维力触觉传感器,其特征在于,所述离电压力传感结构(1)的边缘处设置有粘合剂,所述离电压力传感结构(1)通过粘合剂粘贴在所述柔性电路板(2)上。