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专利号: 2020110939257
申请人: 安徽科技学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-02-28
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种TFET器件研究用模拟系统,包括底板(1),其特征在于,所述底板(1)的贯穿有第一通孔(2),所述第一通孔(2)的底部安装有推动机构(3),所述第一通孔(2)的顶部开口处安装有与底板(1)顶部固接的矩形结构的承载机构(4),所述承载机构(4)外侧安装有与底板(1)顶部固接的罩壳(5),所述承载机构(4)相邻的两侧外侧壁均安装有与罩壳(5)固接的衬底上料机构(7),所述衬底上料机构(7)的正下方安装有位于底板(1)顶部的衬底输送机构(8),所述承载机构(4)的顶部安装有与罩壳(5)顶部内侧壁固结的顶端上料机构(6),所述顶端上料机构(6)的底部一侧安装有与罩壳(5)固结的侧边输送机构(9);

所述承载机构(4)包括与底板(1)顶部固接的矩形结构的承载板(41),所述承载板(41)贯穿有沿竖直方向设置的放置槽(42),且放置槽(42)与第一通孔(2)连通,所述承载板(41)与相邻的一个衬底上料机构(7)相邻的一侧开设有与放置槽(42)连通的第一伸入通道(43),所述第一伸入通道(43)的两侧内侧壁均开设有沿竖直方向等距设置的第一限制槽(44),且第一限制槽(44)延伸并凹陷在放置槽(42)相邻的内侧壁上,所述承载板(41)与相邻的另一个衬底上料机构(7)相邻的一侧开设有与放置槽(42)连通的第二伸入通道(45),所述第二伸入通道(45)的两侧内侧壁均开设有沿竖直方向等距设置的第二限制槽(46),且第二限制槽(46)延伸并凹陷在放置槽(42)相邻的内侧壁上,第二限制槽(46)与第一限制槽(44)交错设置,利用衬底上料机构(7)将TFET器件的衬底沿第一伸入通道(43)和第二伸入通道(45)输送至第一限制槽(44)和第二限制槽(46),利用顶端上料机构(6)将TFET器件的外延层、栅介质层、栅极层、源区和漏区放置在承载板(41)顶部。

2.根据权利要求1所述的一种TFET器件研究用模拟系统,其特征在于,所述顶端上料机构(6)包括与罩壳(5)顶部内侧壁固结的第一推动机构,第一推动机构的底部固接有安装板(61),安装板(61)的两侧均开设有卡槽(62),卡槽(62)的内部滑动连接有第一推板(63),第一推板(63)相互靠近的一侧均安装有与安装板(61)顶部固接的第二推动机构(65),第一推板(63)的底部固接有第一吸附板(64),两组第一吸附板(64)相互靠近的一侧安装有与安装板(61)底部固接的第二吸附板(66),两组第一推板(63)相互远离的一侧固接有沿竖直方向设置的第三推动机构,第三推动机构的底部固接有横板(67),两组横板(67)相互远离的一侧底部均固接有检测探针(68)。

3.根据权利要求1所述的一种TFET器件研究用模拟系统,其特征在于,所述衬底上料机构(7)包括与罩壳(5)内侧壁固结且沿竖直方向设置的第四推动机构(71),第四推动机构(71)靠近承载机构(4)的一侧输出端固接有沿水平方向设置的第五推动机构(72),第五推动机构(72)靠近承载机构(4)的输出端固接有支杆(73),支杆(73)靠近承载机构(4)的一侧固接有沿其长度方向分布的吸附杆(74)。

4.根据权利要求1所述的一种TFET器件研究用模拟系统,其特征在于,所述衬底输送机构(8)包括开设在底板(1)且沿相邻衬底上料机构(7)长度方向设置的内凹槽,内凹槽的底部内侧壁安装有沿其长度方向设置的第六推动机构,第六推动机构的顶部输出端安装有第一放料板。

5.根据权利要求1所述的一种TFET器件研究用模拟系统,其特征在于,所述侧边输送机构(9)包括开设在罩壳(5)上的进料口,进料口的一侧固接有第七推动机构,第七推动机构的一侧固接有第二放料板。

6.根据权利要求1所述的一种TFET器件研究用模拟系统,其特征在于,所述推动机构(3)包括与第一通孔(2)滑动套接的顶板,顶板的底部安装有第八推动机构,第八推动机构的底部安装有与底板(1)固接的支架。

7.根据权利要求3所述的一种TFET器件研究用模拟系统,其特征在于,所述吸附杆(74)采用中空结构,吸附杆(74)的顶部开设有与其内部连通的第一吸附孔,吸附杆(74)的一侧固接有与其内部连通的第一抽气管。

8.根据权利要求2所述的一种TFET器件研究用模拟系统,其特征在于,所述第一吸附板(64)和第二吸附板(66)均采用中空结构,第一吸附板(64)和第二吸附板(66)的底部均开设有与其内部连通的第二吸附孔,第一吸附板(64)和第二吸附板(66)的一侧均固接有与其内部连通的第二抽气管。