1.一种半导体石墨坩埚测温设备，其特征在于：包括夹紧机构（1）、保护机构（2）、测温机构（3）和底座（4），所述保护机构（2）固定设置在所述底座（4）内部，所述夹紧机构（1）固定设置在所述底座（4）上端，所述测温机构（3）固定设置在所述夹紧机构（1）下方；其中：所述保护机构（2）包括两个对称设置的充气组件（21），所述充气组件（21）包括固定板（22）、下压杆（23）、移动杆（24）、充气筒（25）、气压杆（26）和气囊（27），所述底座（4）底端内壁上开设有活动槽（41），所述固定板（22）的两端均固定安装在所述底座（4）的内壁上，所述固定板（22）上开设有滑动槽（221），所述移动杆（24）的两端分别设有第一滑块（241）与第二滑块（242），所述第一滑块（241）可滑动地安装在所述滑动槽（221）内，所述第二滑块（242）可滑动地安装在所述活动槽（41）内，所述移动杆（24）上开设有移动槽（243），所述下压杆（23）贯通所述固定板（22），所述下压杆（23）的底端固定安装有第三滑块（231），所述第三滑块（231）可滑动地安装在所述移动槽（243）内，所述充气筒（25）固定设置在所述底座（4）上，所述充气筒（25）远离所述移动杆（24）的一端开设有出气口（251），所述气囊（27）固定连接至所述出气口（251），所述固定板（22）上还开设有连通孔（222），所述气囊（27）穿过所述连通孔（222）设置在所述底座（4）内，所述气压杆（26）为T型结构，所述气压杆（26）的一端固定安装在所述移动杆（24）上，所述气压杆（26）的另一端可滑动地设置在所述充气筒（25）内。

2.如权利要求1所述的一种半导体石墨坩埚测温设备，其特征在于：所述夹紧机构（1）包括两个对称设置的夹紧部（11），所述夹紧部（11）包括滑框（12）、滑动板（13）、连接杆（14）、转盘（15）和中心块（16），所述滑框（12）的两端通过连杆固定设置在所述测温机构（3）上端，所述滑动板（13）的底端通过滑块可滑动地安装在所述滑框（12）上，所述中心块（16）固定设置在所述滑框（12）中部，所述转盘（15）为菱形结构，所述转盘（15）固定设置在第一连杆（17）上，所述第一连杆（17）的底端可转动地安装在所述中心块（16）上，所述连接杆（14）的一端可转动地设置在第二连杆（18）上，所述第二连杆（18）的底端固定设置在所述中心块（16）上，所述连接杆（14）的另一端可转动地设置在第三连杆（19）上，所述第三连杆（19）的底端固定设置在所述滑动板（13）上。

3.如权利要求1所述的一种半导体石墨坩埚测温设备，其特征在于：所述测温机构（3）包括驱动电机（31）、固定座（32）、第一支撑板（33）、第二支撑板（34）、转动杆（35）、转动圆盘（36）、第四滑块（37）、第五滑块（38）、第一圆杆（39）和第二圆杆（310），所述固定座（32）通过连杆与所述滑框（12）相连接，所述固定座（32）的中部设有活动腔（321），所述第一支撑板（33）的底端固定设置在所述固定座（32）的一端，所述第二支撑板（34）的底端固定设置在所述固定座（32）的另一端，所述转动杆（35）的两端可转动地设置在所述第一支撑板（33）与所述第二支撑板（34）上，所述转动杆（35）上设有第一螺纹段（351）与第二螺纹段（352），所述第四滑块（37）与所述第一螺纹段（351）相配合，所述第五滑块（38）与所述第二螺纹段（352）相配合，所述第四滑块（37）的底端固定设有第一固定杆（371），所述第一圆杆（39）的一端可转动地与所述第一固定杆（371）相连接，所述第一圆杆（39）的另一端可转动地设置在所述转动圆盘（36）上端，所述第五滑块（38）的底端固定设有第二固定杆（381），所述第二圆杆（310）的一端可转动地与所述第二固定杆（381）相连接，所述第二圆杆（310）的另一端可转动地设置在所述转动圆盘（36）上端，所述转动圆盘（36）上设有用于放置测温管的卡接槽（361），所述驱动电机（31）固定设置在所述固定座（32）的一端，所述驱动电机（31）的输出端与所述转动杆（35）轴性连接。

4.如权利要求3所述的一种半导体石墨坩埚测温设备，其特征在于：所述第一螺纹段

（351）与所述第二螺纹段（352）螺纹方向相反。

5.如权利要求3所述的一种半导体石墨坩埚测温设备，其特征在于：所述第一固定杆

（371）与所述第二固定杆（381）均位于所述活动腔（321）内。

6.如权利要求2所述的一种半导体石墨坩埚测温设备，其特征在于：所述滑动板（13）远离所述中心块（16）的一端设有抓钩，所述抓钩与坩埚接触端设有吸盘，所述吸盘材质为丁基橡胶。

7.如权利要求1所述的一种半导体石墨坩埚测温设备，其特征在于：所述气囊（27）材质为丁基橡胶。

8.如权利要求1-7任一所述的一种半导体石墨坩埚测温设备的测温方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一，将坩埚放入所述底座（4）中，坩埚底部会挤压所述下压杆（23），进一步地，所述下压杆（23）在向下移动过程中会带动所述移动杆（24）向远离所述下压杆（23）一端移动，从而，所述移动杆（24）会带动所述气压杆（26）在所述充气筒（25）内移动，从而对所述气囊（27）进行充气；

步骤二，当坩埚在所述底座（4）内稳定后，将温度计插入所述卡接槽（361）内，向两侧拉动所述滑动板（13），进一步可以带动所述转盘（15）转动，从而可以使所述滑动板（13）在所述滑框（12）上移动，使所述固定座（32）固定在坩埚上方；

步骤三，启动所述驱动电机（31），所述驱动电机（31）会带动所述转动杆（35）转动，进一步地，所述第四滑块（37）与所述第五滑块（38）会在所述转动杆（35）上做相向运动，所述第四滑块（37）与所述第五滑块（38）在运动过程中会带动所述转动圆盘（36）转动，可以会带动测温管在坩埚内转动，从而可以对坩埚的内部进行测温；

步骤四，记录测温管测温数据，对数据进行整理；

步骤五，将坩埚取出，清理干净后存放。