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专利号: 2020106625952
申请人: 合肥千聚环保科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 清洁
更新日期:2024-05-06
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于晶圆检测的除尘装置,其特征在于:包括检测箱(1)、集尘柜(2)、承载台(4)和除尘机构,检测箱(1)的正面设置有箱门(3),且检测箱(1)内设置有除尘机构,除尘机构包括第一电机(7)、转轴(8)、安装板(9)、限位滑轮(10)、刷板(13)、刷毛(14),第一电机(7)安装在检测箱(1)的内部顶面上,且第一电机(7)的输出端通过转轴与安装板(9)的一端连接,安装板(9)通过伸缩组件与刷板(13)连接,刷板(13)位于安装板(9)的正下方,且刷板(13)的底部设置有刷毛(14),检测箱(1)内的下方设置有用于晶圆检测的承载台(4),承载台(4)为圆形结构,且承载台(4)的半径与刷板(13)的长度相等,承载台(4)上均匀设置有多组的除尘孔。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的除尘装置,其特征在于,检测箱(1)的内壁上设置有支撑限位环(6),安装板(9)的另一端设置有限位滑轮(10),支撑限位环(6)设置有与限位滑轮(10)相适配的环形限位槽。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的除尘装置,其特征在于,伸缩组件包括第一活动杆(11)、第二活动杆(12)、第一滑块(15)、第二滑块(16)、限位安装槽(17)、液压缸(18),第一活动杆(11)的两端分别与第一滑块(15)活动连接,第二活动杆(12)的两端分别与第二滑块(16)活动连接,底端的第一滑块(15)安装在刷板(13)的顶面上,顶端的第一滑块(15)位于限位安装槽(17)内,并与安装板(9)滑动连接,底端的第二滑块(16)与刷板(13)的顶面滑动连接,顶端的第二滑块(16)设置在限位安装槽(17)的一侧上。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的除尘装置,其特征在于,安装板(9)上设置有长方形的限位安装槽(17),液压缸(18)设置在限位安装槽(17)的另一侧上,且液压缸(18)的输出端与第一滑块(15)连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的除尘装置,其特征在于,检测箱(1)的正面滑动设置滑动有集尘柜(2),集尘柜(2)位于承载台(4)的正下方,集尘柜(2)为顶面开口的中空结构,集尘柜(2)的内部顶面上设置有吸水层(5)。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的除尘装置,其特征在于,该用于晶圆检测的除尘装置的使用方法包括以下步骤:

S1、使用时,首先将需要检测的晶圆放置到承载台(4)上,然后控制液压缸(18)伸长运动,使得第一滑块(15)与第二滑块(16)相互靠近,相互靠近的两组滑块通过第一活动杆(11)和第二活动杆(12),使得刷板(13)向下移动,并使得刷板(13)底面上的刷毛(14)与承载台(4)上的晶圆接触,再启动第一电机(7)工作,带动安装板(9)和安装板(9)连接的刷板(13)转动,对承载台(4)上的晶圆进行刷洗,去除承载台(4)表面的灰尘;

S2、刷洗后的杂质灰尘通过承载台(4)上的除尘孔落入到集尘柜(2)内收集,通入抽拉集尘柜(2)可以对收集的灰尘进行处理,同时,集尘柜(2)内的吸水层,降低检测箱(1)的水分,使得检测箱(1)处于较干燥的环境。