1.一种半导体石墨晶圆,其特征在于,包括以下重量份的原料:氧化石墨烯10‑20份、乙醇20‑30份、硅晶圆、有机硅油1‑5份、改性硅铝炭黑1‑5份、聚硅氧烷5‑10份、聚四氟乙烯5‑
10份、氮化硅1‑5份、二硫化钼2‑7份、聚氨酯丙烯酸酯1‑5份、氮化碳1‑5份、丙烯酸树脂粉末
3‑9份;
一种半导体石墨晶圆的制备步骤为:
S1:将氧化石墨烯加入到乙醇中,配制成浓度0.05‑10mg/ml的乙醇溶液;
S2:然后将有机硅油、改性硅铝炭黑、聚硅氧烷、聚四氟乙烯、氮化硅、二硫化钼放进混合设备内进行搅拌混合,制得第一混合物;
S3:将聚氨酯丙烯酸酯、氮化碳、丙烯酸树脂粉末加入到第一混合物中搅拌混合,制得第二混合物;
S4:将第二混合物与乙醇溶液搅拌混合,制得第三混合物;
S5:将第三混合物涂于硅晶圆表面,干燥后置入气氛炉中恒温热处理,得到半导体石墨晶圆;
所述S2中,将有机硅油、改性硅铝炭黑、聚硅氧烷、聚四氟乙烯、氮化硅、二硫化钼放进混合设备内进行搅拌混合,搅拌速度为300‑500r/min,搅拌时间为10‑15min,制得第一混合物;
所述S3中,将聚氨酯丙烯酸酯、氮化碳、丙烯酸树脂粉末加入到第一混合物中搅拌混合,搅拌速度为350‑550r/min,搅拌时间为15‑20min,制得第二混合物;
所述S4中,将第二混合物与乙醇溶液搅拌混合,搅拌速度为400‑600r/min,搅拌时间为
20‑25min,制得第三混合物;
所述S5中,将第三混合物涂于硅晶圆表面,干燥后置入气氛炉中恒温热处理,气氛炉的气氛为氢气,得到半导体石墨晶圆;
所述S5中,将第三混合物涂于硅晶圆表面,干燥后置入气氛炉中,于200‑500°C的温度下恒温热处理40‑60min,得到半导体石墨晶圆。
2.根据权利要求1所述的一种半导体石墨晶圆,其特征在于,包括以下重量份的原料:氧化石墨烯11‑19份、乙醇21‑29份、硅晶圆、有机硅油2‑4份、改性硅铝炭黑2‑4份、聚硅氧烷
6‑9份、聚四氟乙烯6‑9份、氮化硅2‑4份、二硫化钼3‑6份、聚氨酯丙烯酸酯2‑4份、氮化碳2‑4份、丙烯酸树脂粉末4‑8份。
3.根据权利要求1所述的一种半导体石墨晶圆,其特征在于,包括以下重量份的原料:氧化石墨烯15份、乙醇25份、硅晶圆、有机硅油3份、改性硅铝炭黑3份、聚硅氧烷7份、聚四氟乙烯7份、氮化硅3份、二硫化钼4份、聚氨酯丙烯酸酯3份、氮化碳3份、丙烯酸树脂粉末6份。
4.根据权利要求1所述的一种半导体石墨晶圆,其特征在于,所述S1中,将氧化石墨烯加入到乙醇中,配制成浓度5mg/ml的乙醇溶液。