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专利号: 2020106045853
申请人: 河南科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 一般的物理或化学的方法或装置
更新日期:2025-02-08
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种Co原子复合纳米颗粒/薄膜催化剂,其主体为Mo‑Ag合金膜,其特征在于:在所述Mo‑Ag合金膜的一个表面分布有蠕虫状Ag颗粒和至少一个的Co原子或原子团簇;

该Co原子复合纳米颗粒/薄膜催化剂的制备方法为,利用射频磁控溅射法制备Mo‑Ag合金膜,溅射靶材是由99.95at%Mo靶和覆盖在Mo靶上的99.99at%的Ag片组成的复合靶材,且在溅射沉积Mo‑Ag合金膜时,使聚酰亚胺基体保持与基片台呈5‑10°夹角的悬垂状态进行溅射,并保证所溅射形成的Mo‑Ag合金膜的厚度为100‑200nm,Ag的含量为22‑29at%,从而在聚酰亚胺基体上溅射沉积Mo‑Ag合金膜时形成蠕虫状Ag颗粒,最后在形成蠕虫状Ag颗粒的表面溅射沉积Co原子即可得到。

2.根据权利要求1所述的一种Co原子复合纳米颗粒/薄膜催化剂,其特征在于:所述蠕虫状Ag颗粒的尺寸为50‑180nm。

3.根据权利要求1所述的一种Co原子复合纳米颗粒/薄膜催化剂,其特征在于:所述Co2

原子或原子团簇的分布密度为50‑300个/μm。

4.根据权利要求1所述的Co原子复合纳米颗粒/薄膜催化剂,其特征在于:所述溅射沉积Co原子时,采用Co靶射频溅射,功率为100w,时间为3‑5s。