1.金属板材的表面镀膜方法,其特征在于,所述方法包括:
a.间歇式等离子刻蚀:在真空度1~10-2Pa,用流量50~4000sccm的Ar直接对金属板材进行间歇式等离子刻蚀,至金属板材的温度达到200~1200℃停止间歇式等离子刻蚀;优选金属板材的温度达到300~800℃停止间歇式等离子刻蚀;
b.镀膜:a步骤停止间歇式等离子刻蚀后,立即在金属板材上镀膜;
所述间歇式等离子刻蚀的每次溅射刻蚀时间为1~60s,停机冷却时间10~3600秒;
所述镀膜优选采用电子束蒸发镀膜。
2.根据权利要求1所述的金属板材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述金属板材的幅宽100~1500mm、厚度0.1~0.5mm。
3.根据权利要求1或2所述的金属板材的表面镀膜方法,其特征在于,所述金属板材为不锈钢板,优选为ST12、Q235或410钢板。
4.根据权利要求1~3任一项所述的金属板材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述等离子刻蚀的磁场强度条件为:10~60mT;a步骤所述间歇式等离子刻蚀的电源正负脉冲占空比优选为40~80%。
5.根据权利要求1~4任一项所述的金属板材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述间歇式等离子刻蚀的靶基距为50~200mm。
6.根据权利要求1~5任一项所述的金属板材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述电源条件为:频率10~100KHz,工作电压200~1200V、电流5~80A。
7.根据权利要求1~6任一项所述的金属板材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述间歇式等离子刻蚀的电源正负脉冲占空比40%~80%。
8.根据权利要求1~7任一项所述的金属带材板材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述间歇式等离子刻蚀的平均刻蚀深度3.9~8.6μm。
9.根据权利要求1~8任一项所述的金属带材板材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述间歇式等离子刻蚀的刻蚀速率为2.4~2.7nm/s。
10.根据权利要求1~9任一项所述的金属板材的表面镀膜方法,其特征在于,所述a步骤通入Ar前,控制真空度为10-3~10-4Pa。