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专利号: 2020104737879
申请人: 攀枝花学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-01-05
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摘要:

权利要求书:

1.金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,所述方法包括:

a.等离子刻蚀:在真空度1~10-2Pa,用流量50~4000sccm的Ar直接对金属带材进行等离子刻蚀,至金属带材的温度达到200~1200℃停止等离子刻蚀;优选金属带材的温度达到

300~800℃停止等离子刻蚀;

b.镀膜:a步骤停止等离子刻蚀后,立即采用电子束蒸发镀膜在的金属带材上镀膜。

2.根据权利要求1所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述金属带材的幅宽100~1500mm、厚度0.1~0.5mm。

3.根据权利要求1或2所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,所述金属带材为不锈钢片,优选为ST12、Q235或410。

4.根据权利要求1~3任一项所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述等离子刻蚀的磁场强度条件为:10~60mT;a步骤所述等离子刻蚀的电源正负脉冲占空比优选为40~80%;a步骤所述等离子刻蚀功率优选为1~50KW。

5.根据权利要求1~4任一项所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述等离子刻蚀的靶基距为50~200mm。

6.根据权利要求1~5任一项所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述电源条件为:频率10~100KHz,工作电压200~1200V。

7.根据权利要求1~6任一项所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述等离子刻蚀将金属带材基底清洁1~50nm。

8.根据权利要求1~7任一项所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述等离子刻蚀所需要的放电宽度为:100~1500mm。

9.根据权利要求1~8任一项所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,b步骤所述镀膜的镀膜金属为钛、镍、铬金属及其合金;所述镀膜金属的纯度优选为98~99.999%。

10.根据权利要求1~9任一项所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,所述金属带材的表面镀膜方法为连续镀膜,所述连续镀膜的金属带材走带速度为0.5~120m/min;

b步骤所述镀膜的真空度优选为10-1~10-3Pa;优选b步骤所述镀膜的镀膜功率不小于

40KW;

b步骤所述镀膜的镀膜厚度优选为0.01~200μm。