1.金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,所述方法包括:
a.等离子刻蚀:在真空度1~10-2Pa,用流量50~4000sccm的Ar直接对金属带材进行等离子刻蚀,至金属带材的温度达到200~1200℃停止等离子刻蚀;优选金属带材的温度达到
300~800℃停止等离子刻蚀;
b.镀膜:a步骤停止等离子刻蚀后,立即采用电子束蒸发镀膜在的金属带材上镀膜。
2.根据权利要求1所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述金属带材的幅宽100~1500mm、厚度0.1~0.5mm。
3.根据权利要求1或2所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,所述金属带材为不锈钢片,优选为ST12、Q235或410。
4.根据权利要求1~3任一项所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述等离子刻蚀的磁场强度条件为:10~60mT;a步骤所述等离子刻蚀的电源正负脉冲占空比优选为40~80%;a步骤所述等离子刻蚀功率优选为1~50KW。
5.根据权利要求1~4任一项所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述等离子刻蚀的靶基距为50~200mm。
6.根据权利要求1~5任一项所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述电源条件为:频率10~100KHz,工作电压200~1200V。
7.根据权利要求1~6任一项所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述等离子刻蚀将金属带材基底清洁1~50nm。
8.根据权利要求1~7任一项所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述等离子刻蚀所需要的放电宽度为:100~1500mm。
9.根据权利要求1~8任一项所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,b步骤所述镀膜的镀膜金属为钛、镍、铬金属及其合金;所述镀膜金属的纯度优选为98~99.999%。
10.根据权利要求1~9任一项所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,所述金属带材的表面镀膜方法为连续镀膜,所述连续镀膜的金属带材走带速度为0.5~120m/min;
b步骤所述镀膜的真空度优选为10-1~10-3Pa;优选b步骤所述镀膜的镀膜功率不小于
40KW;
b步骤所述镀膜的镀膜厚度优选为0.01~200μm。