1.一种煤气分质回炉内热式低温富氧煤干馏工艺方法，其特征在于，包括以下步骤：内热式低温煤干馏炉通入去氢煤气、空气和氧气；所述空气和所述氧气混合形成富氧助燃气，所述去氢煤气在所述内热式低温煤干馏炉内与所述富氧助燃气进行富氧燃烧，获得高温烟气；所述高温烟气作为低温富氧煤干馏工艺过程所需的内热源及介质；

其中，所述富氧助燃气中氧气体积分数大于等于30％；

所述去氢煤气获得的步骤包括：

将所述内热式低温煤干馏炉产生的煤气，进行煤气冷却及焦油捕集，得到净煤气；

将净煤气中的氢气分离去除，得到去氢煤气，用于返回炉内燃烧；分离得到的氢气通入下游化工厂进行高附加值利用；

富余的去氢煤气通往化工厂作为原料气或冶金用还原气，用于实现梯级利用。

2.根据权利要求1所述的一种煤气分质回炉内热式低温富氧煤干馏工艺方法，其特征在于，通过助燃风机和空气输送管路向所述内热式低温煤干馏炉内通入空气；通过氧气输送管路向所述内热式低温煤干馏炉内通入氧气；其中，所述空气输送管路和所述氧气输送管路均设置有流量调节阀。

3.根据权利要求1所述的一种煤气分质回炉内热式低温富氧煤干馏工艺方法，其特征在于，通过煤气风机和去氢煤气输送管路向所述内热式低温煤干馏炉内通入去氢煤气，所述去氢煤气输送管路设置有流量调节阀；

其中，通入炉内的去氢煤气与富氧助燃气的流量比大于其完全燃烧的化学计量比。

4.根据权利要求1所述的一种煤气分质回炉内热式低温富氧煤干馏工艺方法，其特征在于，通过PSA变压吸附装置将净煤气中的氢气分离去除，得到去氢煤气。

5.一种煤气分质回炉内热式低温富氧煤干馏系统，其特征在于，包括：内热式低温煤干馏炉，用于通入去氢煤气、空气和氧气；所述空气和所述氧气混合形成富氧助燃气，所述去氢煤气在所述内热式低温煤干馏炉内与所述富氧助燃气进行富氧燃烧，获得高温烟气；所述高温烟气作为低温富氧煤干馏工艺过程所需的内热源；所述富氧助燃气中氧气体积分数大于等于30％；

煤气冷却及焦油捕集装置，用于通入所述内热式低温煤干馏炉产生的煤气，进行煤气冷却及焦油捕集，得到净煤气；

煤气分质装置，用于通入净煤气，将净煤气中的氢气分离去除，得到去氢煤气；其中，分离得到的氢气通入下游化工厂进行高附加值利用；富余的去氢煤气通往化工厂作为原料气或冶金用还原气，用于实现梯级利用。

6.根据权利要求5所述的一种煤气分质回炉内热式低温富氧煤干馏系统，其特征在于，还包括：助燃风机和空气输送管路，用于向所述内热式低温煤干馏炉内通入空气；

氧气输送管路，用于向所述内热式低温煤干馏炉内通入氧气；

其中，所述空气输送管路和所述氧气输送管路均设置有流量调节阀。

7.根据权利要求5所述的一种煤气分质回炉内热式低温富氧煤干馏系统，其特征在于，还包括：煤气风机和去氢煤气输送管路，用于向所述内热式低温煤干馏炉内通入去氢煤气，所述去氢煤气输送管路设置有流量调节阀；

其中，通入炉内的去氢煤气与富氧助燃气的流量比大于其完全燃烧的化学计量比。

8.根据权利要求5所述的一种煤气分质回炉内热式低温富氧煤干馏系统，其特征在于，所述煤气分质装置为PSA变压吸附装置。

9.根据权利要求5所述的一种煤气分质回炉内热式低温富氧煤干馏系统，其特征在于，所述富氧助燃气中氧气体积分数为30％～85％。