1.光阻液烘烤装置，包括烘烤箱体(1)，其特征在于：所述烘烤箱体(1)正面开设有密封门(2)，所述烘烤箱体(1)的下表面安装有多个支撑腿(3)，所述烘烤箱体(1)包括位于其顶部的顶盖板(4)，所述烘烤箱体(1)的内底壁为倾斜型漏斗状，所述烘烤箱体(1)的下表面固定连接有连通其内部的清理管(5)，所述烘烤箱体(1)的内侧壁嵌设有轴承圈(6)，所述轴承圈(6)的内环固定连接有分流圆环管(7)，所述分流圆环管(7)为横截面为直角梯形的管状圆形结构，所述分流圆环管(7)的内弧面固定连接若干与其内部连通的分流管(8)，所述分流圆环管(7)的外弧面上端固定连接有外齿轮环(9)，所述烘烤箱体(1)的右侧面设置有通过外齿轮环(9)驱动分流圆环管(7)转动的驱动机构；所述分流圆环管(7)的下表面开设有多个进气孔(10)，所述进气孔(10)的正下方设置有热源管(11)，所述顶盖板(4)的中心部位嵌设有轴承(12)，所述轴承(12)的内环固定有转动架(13)，所述顶盖板(4)的上表面固定连接有驱动转动架(13)旋转的伺服电机(14)，所述顶盖板(4)的上表面固定连接有与其内部连通的排气管(15)。

2.根据权利要求1所述的光阻液烘烤装置，其特征在于：所述密封门(2)的材质为钢化透明玻璃，所述清理管(5)的出口处螺纹连接有螺旋密封盖。

3.根据权利要求1所述的光阻液烘烤装置，其特征在于：所述驱动机构包括开设在烘烤箱体(1)有侧面的通孔和固定连接在烘烤箱体(1)右侧面的驱动电机(16)，所述通孔的内部转动连接有垂直转轴(17)，所述垂直转轴(17)的轴杆表面固定连接有同步轮(18)和驱动齿轮(19)，所述驱动齿轮(19)和外齿轮环(9)啮合，所述同步轮(18)通过同步带与驱动电机(16)的输出轴传动连接。

4.根据权利要求1所述的光阻液烘烤装置，其特征在于：所述热源管(11)固定连接在烘烤箱体(1)的左侧面并延伸至分流圆环管(7)的下表面开设有气流通孔(20)，所述气流通孔(20)与进气孔(10)的距离为0.1cm-0.2cm之间，所述热源管(11)远离烘烤箱体(1)的另一端固定连接有脱水热风机。

5.根据权利要求1所述的光阻液烘烤装置，其特征在于：所述转动架(13)是由多个圆环状的网盘和一个主轴杆组成，所述主轴杆的顶部与伺服电机(14)的输出轴固定连接。

6.根据权利要求1所述的光阻液烘烤装置，其特征在于：所述烘烤箱体(1)的内底壁固定固定连接有用于支撑转动架(13)的支撑架(21)，所述支撑架(21)的上表面固定连接有用于连接转动架(13)主轴杆的轴承。