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专利号: 2019111892819
申请人: 长春理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 超微技术〔7〕
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种采用飞秒激光加工多种纳米图案的方法,其特征在于,包括:将清洗后的硅片置于浓硫酸和双氧水比例为7∶3的混合溶液中浸泡,做亲水处理后清洗吹干;

将浓度为5%的、粒子直径为200nm且溶剂为去离子水的金纳米粒子溶液与柠檬酸钠混合,利用搅拌器搅拌均匀;

将溶液液体滴在硅片表面;

利用转盘旋转硅片,改变柠檬酸钠填入量和旋涂参数,旋涂金纳米粒子于硅片表面并形成溶液沉积薄膜;

把硅片置于电阻炉干燥;

利用飞秒激光垂直照射制备好的具有金纳米粒子和沉积薄膜的硅片;

改变飞秒激光参数和所述沉积薄膜的参数,实现制备多种纳米加工图案;

所述的柠檬酸钠是形成干燥后的沉积薄膜的主要成分,在金纳米粒子周围引入新的介电环境,从而改善加工效果。

2.根据权利要求1所述的一种采用飞秒激光加工多种纳米图案的方法,其特征在于,所述的飞秒激光参数包括:飞秒激光脉冲能量密度、中心波长以及偏振状态。