1.一种可实现多种飞秒激光纳米加工图案的方法,其特征在于,包括:将清洗后的硅片置于皮哈拉洗液中浸泡,做亲水处理后清洗吹干;
将纳米粒子溶入去离子水和柠檬酸钠的混合溶液,利用搅拌器搅拌均匀;
将溶液液体滴在预加工样品表面;
利用转盘旋转样品,改变柠檬酸钠填入量和旋涂参数,旋涂金属粒子于样品表面并形成溶液沉积薄膜;
把样品置于电阻炉干燥;
利用飞秒激光垂直照射制备好的具有纳米颗粒和沉积薄膜的靶材;
改变激光参数和所述薄膜参数,实现制备多种纳米加工图案。
2.根据权利要求1所述的一种可实现多种飞秒激光纳米加工图案的方法,其特征在于,所述的纳米粒子包括:金、银等金属粒子。
3.根据权利要求1所述的一种可实现多种飞秒激光纳米加工图案的方法,其特征在于,所述的滴液量和所述的旋涂参数:旋涂加速度、加速时间、旋涂速度和旋涂时间。
4.根据权利要求1所述的一种可实现多种飞秒激光纳米加工图案的方法,其特征在于,所述的样品包括:硅、玻璃和金属等。
5.根据权利要求1所述的一种可实现多种飞秒激光纳米加工图案的方法,其特征在于,所述的柠檬酸钠是形成干燥后的沉积薄膜的主要成分,引入旋涂粒子周围新的介电环境,从而改善加工效果。
6.根据权利要求1所述的一种可实现多种飞秒激光纳米加工图案的方法,其特征在于,所述的飞秒激光参数包括:飞秒激光脉冲能量密度、中心波长以及偏振。