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专利号: 2019111269014
申请人: 长春理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 微观结构技术〔7〕
更新日期:2024-02-28
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种复合SERS基底的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:采用纳米压痕仪在二维材料的表层制备微纳结构,得到复合SERS基底;

所述二维材料包括叠层设置的金属底层和石墨烯表层;

所述纳米压痕仪的工作参数包括:采用金刚石三棱锥探针,所述金刚石三棱锥探针的三个面间的夹角为120°。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述微纳结构的深度为0.1~2μm。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述微纳结构为阵列微纳结构。

4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,形成所述金属底层的金属包括金、银或铜。

5.根据权利要求1或4所述的制备方法,其特征在于,所述金属底层的厚度为5~10μm,所述石墨烯表层的厚度为1~3nm。

6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述纳米压痕仪的工作参数包括:X方向工作台的加载速率为3~5μm/s,Y方向工作台的加载速率为1~5μm/s,Z方向的垂直载荷为0~30mN。

7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述金刚石三棱锥探针的圆弧半径<

200nm。

8.根据权利要求6或7所述的制备方法,其特征在于,所述垂直载荷为恒力或变力;

所述垂直载荷的力调制信号包括对称三角波、非对称三角波、正弦波或方波。

9.权利要求1~8任一项所述制备方法制备的复合SERS基底。

10.权利要求1~8任一项所述制备方法制备的复合SERS基底或权利要求9所述复合SERS基底在化学农药分子检测中的应用。