1.一种具有双位移的二维精密微动工作台,其特征在于:它包括底座(11),所述底座(11)的顶部通过底层片簧组支撑安装有中层工作台(12),所述中层工作台(12)的顶部通过顶层片簧组支撑安装有上层工作台(14),所述中层工作台(12)的侧壁上固定有第一楔形块(4),所述第一楔形块(4)与用于驱动其沿Y向微动的Y向楔形机构相配合;所述上层工作台(14)的侧壁上固定有第二楔形块(9),所述第二楔形块(9)与用于驱动其沿X向微动的X向楔形机构相配合;
所述底层片簧组包括第一片簧(6)、第二片簧(10)、第三片簧(16)和第四片簧(17);所述第一片簧(6)和第二片簧(10)布置在底座(11)和中层工作台(12)的同一侧,所述第三片簧(16)和第四片簧(17)布置在与第一片簧(6)和第二片簧(10)相对的一侧;
通过上述的底层片簧组保证了与底座(11)相连的中层工作台(12)能够沿着Y向移动;
所述顶层片簧组包括第五片簧(1)、第六片簧(5)、第七片簧(13)和第八片簧(15);所述第五片簧(1)和第六片簧(5)固定在中层工作台(12)和上层工作台(14)的同一侧,所述第七片簧(13)和第八片簧(15)布置在与第五片簧(1)和第六片簧(5)相对的一侧;
通过上述的顶层片簧组保证了与中层工作台(12)相连的上层工作台(14)能够沿着X向移动;
所述Y向楔形机构包括第一螺旋测微器(3),所述第一螺旋测微器(3)的测量杆末端连接有用于和第一楔形块(4)相配合的X向移动楔形块(2)构成楔形面配合;
所述X向楔形机构包括第二螺旋测微器(8),所述第二螺旋测微器(8)的测量杆末端连接有用于和第二楔形块(9)相配合的Y向移动楔形块(7)构成楔形面配合;
所述底层片簧组和顶层片簧组的片簧都采用薄弹簧片,在其中间部位设置有加强板。
2.根据权利要求1所述一种具有双位移的二维精密微动工作台,其特征在于:所述底层片簧组和顶层片簧组的片簧沿着底座(11)的四边呈相邻布置。
3.根据权利要求1所述一种具有双位移的二维精密微动工作台,其特征在于:所述Y向楔形机构和X向楔形机构呈相邻布置。
4.权利要求1-3任意一项所述双位移的二维精密微动工作台的使用方法,其特征在于它包括以下步骤:Step1:先转动第一螺旋测微器(3),通过第一螺旋测微器(3)驱动其末端的X向移动楔形块(2),通过X向移动楔形块(2)与固定在中层工作台(12)上的第一楔形块(4)相配合,进而通过楔形面传动方式驱动第一楔形块(4)沿Y方向移动,实现第一次位移;
Step2:第一楔形块(4)与中层工作台(12)固定相连,第一楔形块(4)的Y方向移动将驱动中层工作台(12)沿Y方向移动,实现第二次位移;
Step3:转动第二螺旋测微器(8),通过第二螺旋测微器(8)驱动其末端的Y向移动楔形块(7),通过Y向移动楔形块(7)与固定在上层工作台(14)上的第二楔形块(9)相配合,进而通过楔形面传动方式驱动第二楔形块(9)沿X方向移动,实现第三次位移;
Step4:第二楔形块(9)与上层工作台(14)固定相连,第二楔形块(9)的X方向移动将驱动上层工作台(14)沿X方向移动,实现第四次位移。
5.根据权利要求4所述的二维精密微动工作台的使用方法,其特征在于:所述Step1中X向移动楔形块(2)沿X方向位移为△x,则第一楔形块(4)沿Y方向移动的距离为△y=∆x tanα,即此时中层工作台(12)沿Y方向移动的距离为△y;
所述Step3中Y向移动楔形块(7)沿Y方向位移为△y1,则第二楔形块(9)沿X方向移动的距离为△x1=△y1 tanα,即此时上层工作台(14)沿X方向移动的距离为△x1;
所述α为第一楔形块(4)和第二楔形块(9)上构成楔形配合的锐角的角度值。