1.一种血液输送用静电蠕动泵,其特征在于:从上到下依次由上盖板、电极层、隔离层、振动层、介质腔板、下盖板连接而成;所述电极层设有第一固定电极、第二固定电极、第三固定电极;所述第一固定电极、第二固定电极、第三固定电极固定在上盖板的下表面;所述振动层设有第一振动膜、第二振动膜、第三振动膜;所述电极层、隔离层、振动层、介质腔板相连构成第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元;所述第一驱动单元由上到下依次为第一固定电极、第一绝缘层、隔离层、第一振动膜、第一介质腔、第一柔性薄膜;所述第二驱动单元由上到下依次为第二固定电极、第二绝缘层、隔离层、第二振动膜、第二介质腔、第二柔性薄膜;所述第三驱动单元由上到下依次为第三固定电极、第三绝缘层、隔离层、第三振动膜、第三介质腔、第三柔性薄膜;所述介质腔板下表面粘接有第一柔性薄膜、第二柔性薄膜和第三柔性薄膜;所述第一柔性薄膜、第二柔性薄膜和第三柔性薄膜均为高弹性薄膜;所述隔离层内部为不连续结构以形成第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元的驱动空腔;
所述第一介质腔是由第一振动膜、介质腔板和第一柔性薄膜相连形成的密闭腔体;所述第二介质腔是由第二振动膜、介质腔板和第二柔性薄膜相连形成的密闭腔体;所述第三介质腔是由第三振动膜、介质腔板和第三柔性薄膜相连形成的密闭腔体;所述第一介质腔、第二介质腔、第三介质腔内均填充有流体介质;所述第一柔性薄膜、第二柔性薄膜、第三柔性薄膜在流体介质压力作用下保持膨胀状态;所述下盖板上表面设有凹槽;所述凹槽位于第一介质腔、第二介质腔、第三介质腔的正下方;所述第一柔性薄膜、第二柔性薄膜、第三柔性薄膜的变形均作用于凹槽内;所述凹槽宽度a小于第一柔性薄膜、第二柔性薄膜、第三柔性薄膜的工作直径d;所述凹槽左端设有第一缓冲腔;所述第一缓冲腔与凹槽相连,且第一缓冲腔与入口连通;所述凹槽右端设有第二缓冲腔;所述第二缓冲腔与凹槽相连,且第二缓冲腔与出口连通。
2.根据权利要求1所述的血液输送用静电蠕动泵,其特征在于:所述振动层的材料为Si;所述第一柔性薄膜、第二柔性薄膜、第三柔性薄膜的材料为弹性硅胶膜;所述第一固定电极、第二固定电极、第三固定电极的材料为Si;所述第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层的材料为SiO2。