1.一种声表面波甲醛气体传感器，包括甲醛检测模块和数据处理模块，其特征在于：所述甲醛检测模块包括SAW芯片，所述SAW芯片包括压电基底，和通过光刻微加工工艺在压电基底上制备的叉指型电极；SAW芯片上沉积有厚度为0.5-0.7μm的纳米ZnO薄膜作为波导层和敏感膜；所述数据处理模块内预先设置甲醛检测模块的SAW芯片谐振频率变化与甲醛浓度的关系图，数据处理模块根据甲醛检测模块检测的SAW芯片谐振频率变化，计算环境中甲醛浓度；

所述SAW芯片上沉积纳米ZnO薄膜的具体方法是：在所述SAW芯片表面通过磁控溅射沉积ZnO薄膜，具体操作是：以99.99%纯度的ZnO为靶材，氩气为工作气体进行磁控溅射，镀膜真空度为0.5Pa，溅射功率为100W，溅射时间为60min；

所述声表面波甲醛气体传感器还包括湿度检测模块；所述湿度检测模块用于检测环境湿度，所述数据处理模块内还预先设置有甲醛检测模块的SAW芯片谐振频率变化与湿度的关系图，数据处理模块根据甲醛检测模块检测的SAW芯片谐振频率变化和湿度检测模块检测的湿度，计算环境中甲醛浓度，数据处理模块的工作方式是：数据处理模块内预先设置的甲醛检测模块的SAW芯片谐振频率变化与甲醛浓度的关系图记为关系图A，甲醛检测模块的SAW芯片谐振频率变化与湿度的关系图记为关系图B；

首先，根据湿度检测模块检测到的环境湿度和关系图B，计算所述环境湿度对应的甲醛检测模块的SAW芯片谐振频率变化△Fw；然后，将甲醛检测模块的SAW芯片谐振频率△F变化减去环境湿度对应的甲醛检测模块的SAW芯片谐振频率变化△Fw得到甲醛浓度引起的甲醛检测模块的SAW芯片谐振频率变化△Ff=△F-△Fw；进一步，根据甲醛浓度引起的甲醛检测模块的SAW芯片谐振频率变化△Ff和关系图A计算甲醛浓度。

2.根据权利要求1所述的声表面波甲醛气体传感器，其特征在于：所述SAW芯片为有源延迟线型，压电基底材料为42.75ºST-cut石英，SAW芯片的结构设计参数为：叉指指条宽度5μm，叉指间距5μm，声孔径1800μm，输入叉指对数为40，输出叉指对数为60对，电极厚度0.2μm，电极材料选择铝，中心距离为2500μm，质量沉积区面积2500×1800μm2。

3.根据权利要求1所述的声表面波甲醛气体传感器，其特征在于：所述湿度检测模块包括SAW芯片，所述SAW芯片包括压电基底，和通过光刻微加工工艺在压电基底上制备的叉指型电极；SAW芯片上沉积有厚度为50-70nm的聚硅氧烷薄膜。

4.根据权利要求3所述的声表面波甲醛气体传感器，其特征在于：所述湿度检测模块的SAW芯片上沉积聚硅氧烷薄膜的具体方法是：配置聚硅氧烷溶液，溶剂为氯仿，浓度1mg/mL，采用喷涂工艺在SAW芯片表面制备50-70nm厚的聚硅氧烷薄膜。

5.根据权利要求4所述的声表面波甲醛气体传感器，其特征在于：所述数据处理模块内还预先设置有湿度检测模块的SAW芯片谐振频率变化与湿度的关系图。

6.根据权利要求5所述的声表面波甲醛气体传感器，其特征在于：所述数据处理模块的工作方式是：数据处理模块内预先设置的甲醛检测模块的SAW芯片谐振频率变化与甲醛浓度的关系图记为关系图A，甲醛检测模块的SAW芯片谐振频率变化与湿度的关系图记为关系图B，湿度检测模块的SAW芯片谐振频率与湿度的关系图记为关系图C；

首先，根据湿度检测模块的SAW芯片谐振频率变化△fw和关系图C计算环境湿度，并根据环境湿度和关系图B，计算所述环境湿度对应的甲醛检测模块的SAW芯片谐振频率变化△Fw；然后，将甲醛检测模块的SAW芯片谐振频率变化△F减去环境湿度对应的甲醛检测模块的SAW芯片谐振频率变化△Fw得到甲醛浓度引起的甲醛检测模块的SAW芯片谐振频率变化△Ff=△F-△Fw；进一步，根据甲醛浓度引起的甲醛检测模块的SAW芯片谐振频率变化△Ff和关系图A计算甲醛浓度。