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专利号: 201910513183X
申请人: 蒋祥初
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 磨削;抛光
更新日期:2024-05-06
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于硅片减薄机的砂轮自适应调节装置,包括支撑底座(1),其特征在于:所述支撑底座(1)的顶部固定安装有驱动平台Ⅰ(2),所述驱动平台Ⅰ(2)的输出端螺纹连接有工作转台(3),所述支撑底座(1)一侧的顶部固定设有驱动平台Ⅱ(4),所述驱动平台Ⅱ(4)的输出端固定安装有固定支架(5),所述固定支架(5)的内部固定套装有自适应调节装置(6),且自适应调节装置(6)的底端螺纹连接有研磨轮(7),所述自适应调节装置(6)包括调节套筒(61)、调节活塞(62)、调节弹簧(63)和固定连杆(64),所述调节套筒(61)外壁的顶部与固定支架(5)的内壁固定套接,所述调节套筒(61)的内壁活动套接有调节活塞(62),且调节套筒(61)内腔的顶部与调节活塞(62)之间通过调节弹簧(63)弹性连接,所述调节活塞(62)的底端固定安装有固定连杆(64),所述固定连杆(64)的底端贯穿并延伸至调节套筒(61)的底部且固定安装有研磨轮(7),所述调节活塞(62)把调节套筒(61)的内腔分为上下两个腔室,且在调节套筒(61)的上下两个腔室中均充满有液压平衡油,所述调节套筒(61)内部的两侧中均设有通槽,且利用两组通槽把调节套筒(61)中的两个腔室连通在一起,同时在通槽中设有电磁控制阀。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片减薄机的砂轮自适应调节装置,其特征在于:所述固定连杆(64)的外表面的底部设有凹槽,且固定连杆(64)上的凹槽与位于调节套筒(61)底端的固定块活动卡接。