欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13336804447 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13336804447
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2019101183106
申请人: 哈尔滨工程大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2026-06-04
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种回音壁模式谐振腔温度传感器,其结构包括宽带光源(1)、光纤锥(3)、光谱分析仪(4)、空心玻璃微球(9),其特征在于:所述的空心玻璃微球(9)通过低折射率的紫外固化胶固定在单模光纤(11)的端面上,空心玻璃微球(9)的球腔中填充有温度敏感液体(8);所述的光纤锥(3)与空心玻璃微球(9)之间通过紫外固化胶固定,且填充有温度敏感液体(8)的空心玻璃微球(9)的球腔(10)与光纤锥(3)之间处于耦合状态;所述的宽带光源(1)发射端通过偏振控制器(2)与光纤锥(3)输入端相连,射入光纤锥(3)中的光通过倏逝波耦合的方式进入空心玻璃微球(9)内部填充有温度敏感液体(8)的球腔中,从空心玻璃微球(9)的球腔中输出的光耦合进光线锥(3),经光纤锥(3)的输出端进入所述的光谱分析仪(4)。

2.根据权利要求1所述的一种回音壁模式谐振腔温度传感器,其特征在于:所述空心玻璃微球(9)表面有一个直径为10μm至15μm的微孔,所述光纤锥(3)的锥区直径为1至2μm,所述空心玻璃微球(9)的空心玻璃微球腔(10)直径为60μm至100μm,空心玻璃微球(9)的壁厚为1μm至2μm。

3.根据权利要求1所述的一种回音壁模式谐振腔温度传感器,其特征在于:所述的温度敏感液体(8)为硅油PDMS,且温度敏感液体(8)完全充满所述空心玻璃微球(9),所述空心玻璃微球(9)的材料为二氧化硅。

4.一种回音壁模式谐振腔温度传感器的制备方法,其特征在于,具体步骤为:步骤1:将单模光纤(11)切平的一端蘸取少量的紫外固化胶,将空心玻璃微球(9)粘到单模光纤(11)的端面上,将粘有空心玻璃微球(9)的单模光纤(11)迅速放在紫外灯的照射下使紫外固化胶固化,并将粘有空心玻璃微球(9)的单模光纤(11)垂直放置;

步骤2:将铜杆尖端垂直向下浸入氢氟酸溶液中,之后控制铜杆尖端靠近空心玻璃微球(9)表面,约一分钟后由于氢氟酸的腐蚀作用在空心玻璃微球(9)表面形成微孔;

步骤3:空心玻璃微球(9)内注入温度敏感液体(8),将泵注射器(6)与毛细管(7)的一端相连接,毛细管(7)另一端固定在三维位移台(5)上,调整三维位移台(5)将毛细管(7)从空心玻璃微球(9)表面微孔伸入空心玻璃微球(9)的底部,通过控制泵注射器(6)将温度敏感液体(8)注入空心玻璃微球(9),保证温度敏感液体(8)完全充满空心玻璃微球(9),没有气泡剩余,制备出液体填充空心玻璃微球回音壁谐振腔;步骤4:仪器连接,宽带光源(1)发射端通过偏振控制器(2)与光纤锥(3)输入端相连,光纤锥(3)中的光通过倏逝波耦合的方式进入回音壁谐振腔中,谐振腔中的输出光耦合进光纤锥(3),经光纤锥(3)的输出端进入光谱分析仪(4);

步骤5:调整温度敏感液体(8)填充的空心玻璃微球(9)与光纤锥(3)之间的位置,当达到高效耦合状态时,滴入紫外固化胶,利用紫外灯的照射使紫外固化胶固化。

5.根据权利要求4所述的一种回音壁模式谐振腔温度传感器的制备方法,其特征在于:所述铜杆尖端直径为5μm,氢氟酸浓度为1%,毛细管外径为8μm,内径为6μm。