1.一种利用工业硅灰制备超细球形二氧化硅微粉的工艺方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：除碳除铁；

S2：使用混合酸和氧化剂除杂；

S3：利用超声波装置循环洗涤和反复脱水；

S4：干燥及煅烧。

2.根据权利要求1所述的工艺方法，其特征在于，所述步骤S1中的除碳除铁，包括以下步骤：(1)把物料雾化到870-900℃的工业气体的燃烧炉中燃烧除碳；

(2)将除碳后的物料用自来水配成固液质量比为10-30％的料浆；

(3)分别用磁场强度不低于0.5T、1.0T、1.5T的磁选机进行三次磁选除铁；

(4)除铁后的料浆用压滤机压成饼状后再用离心机脱水。

3.根据权利要求1或2所述的工艺方法，其特征在于，所述步骤S2中使用混合酸和氧化剂除杂，包括以下步骤：(1)将经除碳除铁得到的滤饼加入混合酸液打浆，打好浆料后再送入反应釜中，加热并搅拌；

(2)当反应温度达到预设温度时开始计时，保温时间3小时。

4.根据权利要求3所述的工艺方法，其特征在于，所述步骤(1)中混合酸以质量百分比计的组成：氢氟酸0.1-5％、二氧化氯0.1-5％、盐酸10-20％，余量为水。

5.根据权利要求3所述的工艺方法，其特征在于：所述步骤(1)中浆料的浓度为30-

60％。

6.根据权利要求3所述的工艺方法，其特征在于：所述反应釜先室温反应30-60分钟，预设温度为80-100℃；搅拌速度为100-150r/min。

7.根据权利要求3所述的工艺方法，其特征在于：所述步骤(1)中的反应釜的压力为负压。

8.根据权利要求1所述的工艺方法，其特征在于，所述步骤S3中利用超声波装置循环洗涤和反复脱水，包括以下步骤：(1)将化学除杂得到的滤饼送入打浆釜中加入自来水进行搅拌打浆，打好浆料后再送入带有搅拌和超声波装置的复合洗涤釜中洗涤，其洗涤过程：打浆→(搅拌+超声波)洗涤→压滤脱水→离心脱水→再打浆→(搅拌+超声波)洗涤→压滤脱水→离心脱水；循环洗涤至洗水pH值达到中性；

(2)用电子级纯水洗涤，洗涤过程：按打浆→(搅拌+超声波)洗涤→压滤脱水→离心脱水→再打浆→(搅拌+超声波)洗涤→压滤脱水→离心脱水；循环洗涤到洗水的电阻率与纯水电阻率相同；

(3)用压滤机压成滤饼后脱水；再用无水乙醇洗涤三次后备用。

9.根据权利要求1所述的工艺方法，其特征在于：所述步骤S4中煅烧温度为900℃。