1.芯片除尘设备，其特征在于：包括用于支撑晶圆的转盘，所述转盘上方设有喷洒机构，所述喷洒机构包括弹性膜和若干个穿设在弹性膜上的清洗管，所述清洗管连有增压件，所述清洗管连通有空心的喷洒球，所述喷洒球位于弹性膜和转盘之间，所述喷洒球上密布有喷洒孔。

2.根据权利要求1所述的芯片除尘设备，其特征在于：所述弹性膜上方还设有盖体，所述盖体与弹性膜之间形成气流室，所述气流室一侧设有气流发生机构，所述气流发生机构的出气方向沿气流室的横向。

3.根据权利要求2所述的芯片除尘设备，其特征在于：所述气流发生机构包括抽排风机，所述抽排风机的进风口位于气流室内、抽排风机的出风口位于气流室外，所述抽排风机的进风口沿气流室的横向延伸，所述气流室侧壁上开设有进风孔，所述进风孔与抽排风机的进风口相对设置。

4.根据权利要求1所述的芯片除尘设备，其特征在于：所述增压件包括液筒，所述液筒内滑动连接有活塞，所述活塞将液筒分成增压气室和储液室，所述抽排风机的出风口与所述增压气室连通，所述增压气室上设有泄压阀，所述活塞与增压气室顶壁之间连有弹性件，所述清洗管与所述储液室连通。

5.根据权利要求4所述的芯片除尘设备，其特征在于：所述储液室连通有补充管道，补充管道上设有补充阀门，所述补充管道连有清洗液筒。