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专利号: 2018115425680
申请人: 攀枝花学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种提高不规则样品的导电性能的方法,其特征在于,包括如下步骤:a、确定样品的待观测区域,以待观测区域向上为初始位置;

b、将a步骤的样品沿水平方向的翻转轴翻转110~130度,然后进行第一次抽真空镀金;

c、将第一次抽真空镀金后的样品沿b步骤的翻转方向翻转110~130度,然后进行第二次抽真空镀金;

d、将第二次抽真空镀金后的样品沿c步骤的翻转方向翻转至待观测区域向上,然后进行第三次抽真空镀金,得到导电的样品。

2.根据权利要求1所述的提高不规则样品的导电性能的方法,其特征在于:b步骤和c步骤均翻转120度。

3.根据权利要求1所述的提高不规则样品的导电性能的方法,其特征在于:设置有样品托,b步骤和c步骤翻转后,采用导电胶布将样品粘接在样品托上再进行抽真空镀金,d步骤翻转后,将样品通过导电底座固定在样品托上,然后进行第三次抽真空镀金。

4.根据权利要求3所述的提高不规则样品的导电性能的方法,其特征在于:所述导电底座为粘接在样品托上的导电胶布,导电底座具有定位槽,步骤d中,样品放置于定位槽中并与导电底座粘接,且样品的待观测区域向上。

5.根据权利要求4所述的提高不规则样品的导电性能的方法,其特征在于:d步骤后采用第一导电胶布纵向绕过样品的顶部,第一导电胶布避开待观测区域,第一导电胶布的两端固定到样品托,将样品向下压紧。

6.根据权利要求5所述的提高不规则样品的导电性能的方法,其特征在于:所述第一导电胶布为2~3根,且呈交叉分布。

7.根据权利要求6所述的提高不规则样品的导电性能的方法,其特征在于:采用第一导电胶布纵向绕过样品的顶部,将样品向下压紧后,再利用第二导电胶布箍紧位于样品底部的第一导电胶布。

8.根据权利要求1~7任一项所述的提高不规则样品的导电性能的方法,其特征在于:抽真空镀金采用磁控溅射法,真空度为≤6Pa,镀层的厚度为10~20nm。