1.一种卡盘销(100)，包括：

卡盘销主体(20)；

定位销(10)，其固定到所述卡盘销主体(20)的一侧并与所述卡盘销主体(20)偏心布置；以及齿轮(30)，其固定到所述卡盘销主体(20)的另一侧并与所述卡盘销主体(20)同心布置，所述齿轮(30)用于带动所述卡盘销主体(20)以及所述定位销(10)转动；

其特征在于，所述卡盘销(100)还包括：

注液管路(11)，其延伸穿过所述定位销(10)、所述卡盘销主体(20)以及所述齿轮(30)；

以及

出液管路(21)，其延伸穿过所述卡盘销主体(20)以及所述齿轮(30)。

2.如权利要求1所述的卡盘销(100)，其特征在于，所述卡盘销主体(20)还设有与所述出液管路(21)连通的凹槽(22)，所述定位销(10)位于所述凹槽(22)内。

3.如权利要求2所述的卡盘销(100)，其特征在于，所述凹槽(22)为圆锥形凹槽。

4.如权利要求1到3中任一项所述的卡盘销(100)，其特征在于，所述注液管路(11)沿着所述定位销(10)的轴线的方向延伸。

5.如权利要求1到3中任一项所述的卡盘销(100)，其特征在于，所述出液管路(21)沿着所述卡盘销主体(20)的轴线的方向延伸。

6.一种卡盘销自清洗装置(200)，其特征在于，包括：如权利要求1到5中任一项所述的卡盘销(100)；

注液管(40)，其在所述卡盘销(100)的齿轮(30)处与所述卡盘销(100)的注液管路(11)连通；以及出液管(50)，其在所述卡盘销(100)的齿轮(30)处与所述卡盘销(100)的出液管路(21)连通。

7.如权利要求6所述的卡盘销自清洗装置(200)，其特征在于，所述卡盘销自清洗装置(200)还包括用于清洁所述卡盘销(100)的定位销(10)的清洁刷。

8.如权利要求7所述的卡盘销自清洗装置(200)，其特征在于，所述清洁刷采用聚乙烯醇制成。

9.如权利要求6到8中任一项所述的卡盘销自清洗装置(200)，其特征在于，所述卡盘销自清洗装置(200)还包括干燥管路(60)，所述干燥管路(60)分别与所述注液管(40)和所述出液管(50)连通。

10.如权利要求9所述的卡盘销自清洗装置(200)，其特征在于，所述干燥管路(60)设有用于加热氮气的加热器(61)。

11.如权利要求9所述的卡盘销自清洗装置(200)，其特征在于，所述干燥管路(60)设有用于打开和封闭所述干燥管路(60)的阀门(62，63)。

12.如权利要求6到8中任一项所述的卡盘销自清洗装置(200)，其特征在于，所述卡盘销自清洗装置(200)还包括与所述注液管(40)连通的回吸阀(70)。

13.如权利要求12所述的卡盘销自清洗装置(200)，其特征在于，所述卡盘销自清洗装置(200)包括三向阀(80)，所述三向阀(80)分别与所述注液管(40)、所述回吸阀(70)以及供给DIW的DIW管道(90)连接。