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专利号: 2018114500097
申请人: 湖南文理学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-04-18
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置,包括立杆(1)和连接头(11),其特征在于:所述立杆(1)的下方固定有通气管(2),且通气管(2)的下方安装有防护罩(3),所述防护罩(3)的内表面安装有出气盘(4),且出气盘(4)的下表面开设有出气口(5),所述防护罩(3)的上表面开设有导向滑轨(9),且导向滑轨(9)的内部安装有滑座(8),所述滑座(8)的上方安装有支撑杆(10),所述连接头(11)的下方与支撑杆(10)的上端相互连接,且连接头(11)的外侧通过承重架(12)与承托盘(13)相互连接,所述立杆(1)的上端从下往上依次从连接头(11)、承托盘(13)和调控盒(14)的表面贯穿,且连接头(11)与立杆(1)的外壁为垂直滑动连接,所述承托盘(13)的上方安装有调控盒(14),且调控盒(14)上表面的右端被第一把手(17)贯穿,所述立杆(1)的上端被拉杆(18)贯穿安装,且拉杆(18)的下端固定有活塞(19),所述立杆(1)外侧上端安装有第二把手(21),且第二把手(21)位于第一把手(17)的左侧,所述立杆(1)设置为中空的结构,且其的内壁与活塞(19)构成滑动摩擦结构,所述立杆(1)的下端通过通气管(2)与出气盘(4)为贯通连接。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置,其特征在于:所述立杆(1)的外侧开设有螺纹(22),且螺纹(22)与固定轮(15)的内表面为咬合连接。

3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置,其特征在于:所述滑座(8)与导向滑轨(9)构成滑动结构,且该滑动结构在防护罩(3)的表面等角度设置有3个。

4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置,其特征在于:所述滑座(8)的下方安装有夹板(6),且夹板(6)的内表面固定有导热硅胶垫(7)。

5.根据权利要求4所述的一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置,其特征在于:所述夹板(6)的内侧表面设置为倾斜的结构,且其的下端宽度小于上方的宽度。

6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置,其特征在于:所述支撑杆(10)的上端设置为倾斜的结构,且其的上端与承托盘(13)构成转动结构,并且支撑杆(10)的下端与滑座(8)构成转动结构。

7.根据权利要求2所述的一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置,其特征在于:所述连接头(11)和承托盘(13)的中心处均被立杆(1)贯穿安装,且连接头(11)和承托盘(13)中心孔径大于螺纹(22)的外径。

8.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置,其特征在于:所述调控盒(14)的内部安装有固定轮(15)和转动齿轮(16),且固定轮(15)的下端与承托盘(13)的上表面为转动连接,所述固定轮(15)的右侧连接有转动齿轮(16),且转动齿轮(16)上表面的中心处安装有第一把手(17)。

9.根据权利要求8所述的一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置,其特征在于:所述转动齿轮(16)的外侧等角度设置有固定齿(20),且固定齿(20)在转动齿轮(16)的外侧分布有二分之一圈,并且固定齿(20)在转动齿轮(16)啮合连接。